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웨이퍼를 안착할 안착홈이 마련되어 있는 캐리어; 상기 안착홈을 관통하여 형성되며 상기 웨이퍼를 흡착하기 위한 진공력을 제공하는 진공 공급홀; 및 상기 캐리어의 측부를 가이드하면서 이동시키는 레일 유닛을 포함하는 웨이퍼 고정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 진공 공급홀은 상기 웨이퍼의 크기에 상관없이 흡착하기 위해 방사형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 안착홈의 일측에 연장되어 형성되는 연장홈과, 상기 연장홈에 삽입되어 상기 안착홈에 안착된 웨이퍼의 측부를 고정시키는 보조 고정 유닛를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 연장홈과 상기 보조 고정 유닛은 적어도 하나 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정 장치
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제 3 항에 있어서,상기 보조 고정 유닛은 상기 연장홈의 내측면을 따라 이동할 수 있는 몸체와, 상기 몸체의 이동방향을 장축으로 갖는 관통홀, 상기 관통홀에 삽입되어 상기 몸체를 상기 연장홈에 체결시키는 체결 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정 장치
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제 3 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 보조 고정 유닛은 상기 안착홈의 높이와 동일한 높이로 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정 장치
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