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1
서로 대향되는 제1 면 및 제2 면을 가지는 반도체 기판; 상기 반도체 기판의 상기 제1 면 상에 차례로 적층된 제1 부동화층, 제2 부동화층, 및 제1 반도체층; 및 상기 제2 부동화층 및 제1 반도체층 사이에 개재되는 제5 부동화층을 포함하되,상기 반도체 기판은 결정질 실리콘을 포함하고, 상기 제1 반도체층은 비정질 실리콘을 포함하고, 상기 제1 부동화층 및 상기 제2 부동화층은 진성 비정질 실리콘을 포함하며, 상기 제2 부동화층은 상기 제1 부동화층보다 높은 결정화도를 가지고, 상기 제5 부동화층은 진성 비정질 실리콘을 포함하는 태양전지
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2
제 1항에 있어서,상기 반도체 기판의 상기 제2 면 상에 차례로 적층된 제3 부동화층, 제4 부동화층, 및 제2 반도체층을 더 포함하고, 상기 제2 반도체층은 비정질 실리콘을 포함하는 태양전지
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3
제 2항에 있어서,상기 제3 부동화층 및 상기 제4 부동화층은 진성 비정질 실리콘을 포함하고, 상기 제4 부동화층은 상기 제3 부동화층보다 높은 결정화도를 가지는 태양전지
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4
제 3항에 있어서,상기 제4 부동화층 및 및 제2 반도체층 사이에 개재되는 제6 부동화층을 더 포함하되, 상기 제6 부동화층은 진성 비정질 실리콘을 포함하는 태양전지
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5
제 2항에 있어서, 상기 반도체 기판은 상기 제2 면 상에 제공된 제2 요철 구조를 가지고, 상기 제3 부동화층 및 상기 제4 부동화층은 상기 반도체 기판의 상기 제2 요철 구조와 대응되는 형상의 단면들을 가지는 태양전지
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6
삭제
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7
제 1항에 있어서, 상기 제1 반도체층 상에 제공되고, 투명 전도성 산화물을 포함하는 제1 전극층; 및상기 제1 전극층 상에 제공되고, 금속을 포함하는 제1 전극 패턴을 더 포함하는 태양전지
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8
제 1항에 있어서, 상기 반도체 기판은 상기 제1 면 상에 제공된 제1 요철 구조를 갖고, 상기 제1 부동화층 및 상기 제2 부동화층은 상기 반도체 기판의 상기 제1 요철 구조를 따라 연장되는 태양전지
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| 9 |
9
서로 대향되는 제1 면 및 제2 면을 가지는 반도체 기판;상기 반도체 기판의 상기 제1 면 상에 차례로 적층된 제1 부동화층, 제2 부동화층, 제5 부동화층, 및 제1 반도체층; 그리고상기 반도체 기판의 상기 제2 면 상에 제공된 제2 반도체층을 포함하되,상기 제1 반도체층은 상기 반도체 기판과 다른 종류의 결정 구조를 가지고, 상기 반도체 기판과 동일한 종류의 불순물을 포함하며, 상기 제2 반도체층은 상기 반도체 기판과 동일한 결정 구조를 가지고, 상기 반도체 기판과 다른 종류의 불순물을 포함하고, 상기 제1 부동화층, 상기 제2 부동화층, 및 상기 제5 부동화층은 진성 비정질 실리콘을 포함하며, 상기 제2 부동화층은 상기 제1 부동화층보다 높은 결정화도를 가지는 태양전지
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10
제 9항에 있어서,상기 반도체 기판은 p형으로 도핑된 결정질 실리콘을 포함하고, 상기 제1 반도체층은 p형으로 도핑된 비정질 실리콘을 포함하고, 상기 제2 반도체층은 n형으로 도핑된 결정질 실리콘을 포함하는 태양전지
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