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양자화된 광자들을 제공하는 광원;상기 광원으로부터 이격되는 기판;상기 기판 상에 배치되어 상기 광자들을 감지하는 단일 광자 센서 층; 및상기 단일 광자 센서 층을 덮고, 상기 광자들을 투과하고, 상기 광원과 상기 기판 사이에 바이오 물질을 흡착하는 흡착 층을 포함하는 바이오 물질 검출장치
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제 1 항에 있어서, 상기 단일 광자 센서 층은 아발란치 포토다이오드 또는 실리콘 광자 배증(silicon photomultiplier)을 포함하는 바이오 물질 검출장치
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제 1 항에 있어서,상기 흡착 층은 실리콘 또는 실리콘 산화막을 포함하는 바이오 물질 검출장치
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제 3 항에 있어서,상기 흡착 층은 유리, 퀄츠(qurtz), 실리콘 질화막(Si3N4), 게르마늄 질화막(Ge3N4), 알루미늄 산화막(Al2O3), 황화 알루미늄(Al2S3), 황화 갈륨(Ga2S3), 황화 인듐(In2S3), 알루미늄 셀라나이드(Al2Se3), 갈륨 셀라나이드(Ga2Se2), 인듐 셀라나이드(In2Se3), 알루미늄 텔레나이드(Al2Te3), 갈륨 텔레나이드(Ga2Te3), 인듐 텔레나이드(In2Te3), 알루미늄코발트(Al2CO), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리메틸 메타크릴레이트(Poly methyl methacrylate(PMMA)), 또는 사이클릭 올레핀 중합체(Cyclic olefin copolymer(COC)) 중 적어도 하나를 더 포함하는 바이오 물질 검출장치
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제 1 항에 있어서,상기 흡착 층은 DNA 흡착 층을 포함하는 바이오 물질 검출장치
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제 5 항에 있어서,상기 DNA 흡착 층은 티올(thiol), 아민, 또는 실란을 포함하는 바이오물질 검출장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원의 상기 광자들은 교류 전원에 의해 조절 또는 변조되는 바이오 물질 검출장치
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제 7 항에 있어서,상기 교류 전원은 사인파, 구형파, 또는 펄스파인 바이오 물질 검출장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원은 발광다이오드(LED), 또는 레어저(laser)를 포함하는 바이오 물질 검출장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광자들의 양에 따라 상기 단일 광자로부터 출력되는 감지 신호를 이용하여 상기 광자들의 개수 빈도 수를 카운트하는 제어부를 더 포함하는 바이오 물질 검출장치
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 도전성을 갖는 반도체 또는 금속을 포함하는 바이오 물질 검출장치
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기판;상기 기판 상에 배치되어 광자들을 감지하는 단일 광자 센서 층; 및상기 단일 광자 센서 층을 덮고, 상기 광자들을 투과하고, 상기 기판에바이오 물질을 흡착하는 흡착 층을 포함하는 바이오 센서
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제 12 항에 있어서,상기 흡착 층은 실리콘 또는 실리콘 산화막을 포함하는 바이오 센서
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제 13 항에 있어서,상기 흡착 층은 유리, 퀄츠(qurtz), 실리콘 질화막(Si3N4), 게르마늄 질화막(Ge3N4), 알루미늄 산화막(Al2O3), 황화 알루미늄(Al2S3), 황화 갈륨(Ga2S3), 황화 인듐(In2S3), 알루미늄 셀라나이드(Al2Se3), 갈륨 셀라나이드(Ga2Se2), 인듐 셀라나이드(In2Se3), 알루미늄 텔레나이드(Al2Te3), 갈륨 텔레나이드(Ga2Te3), 인듐 텔레나이드(In2Te3), 알루미늄코발트(Al2CO), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리메틸 메타크릴레이트(Poly methyl methacrylate(PMMA)), 또는 사이클릭 올레핀 중합체(Cyclic olefin copolymer(COC)) 중 적어도 하나를 더 포함하는 바이오 물질 검출장치
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제 12 항에 있어서,상기 흡착 층은 DNA흡착 층을 포함하는 바이오 센서
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제 15 항에 있어서,상기 DNA 흡착 층은 티올(thiol), 아민, 또는 실란을 포함하는 바이오 센서
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