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기판;상기 기판 상에 제 1 방향으로 연장된 감지 전극; 및상기 기판 상에서 상기 제 1 방향에 교차되는 제 2 방향으로 상기 감지 전극의 양측으로 각각 이격되는 복수개의 히터들을 포함하되,상기 복수개의 히터들은 그래핀을 포함하되,상기 감지 전극은 상기 히터들의 두께와 동일한 두께를 갖고, 상기 히터들 사이에 배치되어 상기 히터들과 동일한 재질의 그래핀의 채널을 포함하는 가스 센서
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제 1 항에 있어서,상기 감지 전극과 상기 기판 사이의 층간 절연 층; 및상기 층간 절연 층과 상기 기판 사이의 하부 히터 층을 더 포함하되,상기 하부 히터 층은 그래핀을 포함하는 가스 센서
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제 5 항에 있어서,상기 층간 절연 층은 투명 유전체를 포함하는 가스 센서
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제 6 항에 있어서,상기 투명 유전체는 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 또는 헥사고널 보론 질화막을 포함하는 가스 센서
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제 1 항에 있어서,상기 감지 전극의 양측 상에 분리되어 상기 제 2 방향으로 연장된 복수개의 상부 절연 패턴들; 및상기 복수개의 상부 절연 패턴들 상에 배치된 복수개의 상부 히터 층들을 더 포함하되,상기 상부 히터 층들은 그래핀을 포함하는 가스 센서
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제 8 항에 있어서,상기 상부 절연 패턴들은 헥사고널 보론 질화막을 포함하는 가스 센서
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제 8 항에 있어서,상기 감지 전극은: 상기 채널의 일측에 배치된 제 1 터미널; 및상기 채널의 타측에 배치된 제 2 터미널을 더 포함하되,상기 상부 절연 패턴들과 상기 상부 히터들은 상기 채널 상에 배치되는 가스 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 플렉서블 기판을 포함하는 가스 센서
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제 11 항에 있어서,상기 플렉서블 기판은 투명 플라스틱 기판을 포함하는 가스 센서
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기판 상에 제 1 방향의 감지 전극을 형성하는 단계; 및상기 제 1 방향에 교차되는 제 2 방향의 상기 감지 전극의 양측에 복수개의 히터들을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 히터들은 그래핀을 포함하되,상기 감지 전극은 상기 히터들의 두께와 동일한 두께를 갖고, 상기 히터들 사이에 배치되어 상기 히터들과 동일한 재질의 그래핀의 채널을 포함하는 가스 센서의 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 감지 전극과 상기 기판 사이에 하부 히터 층을 형성하는 단계; 및상기 하부 히터 층과 상기 감지 전극 사이에 층간 절연 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 가스 센서의 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 감지 전극 및 상기 기판 상에 상부 절연 층을 형성하는 단계;상기 상부 절연 층 상에 상부 히터 층을 형성하는 단계; 및상기 상부 히터 층 및 상기 상부 절연 층을 패터닝하여 상기 감지 전극의 상기 제 1 방향의 양측 말단 상에 상부 절연 패턴들 및 상부 히터들을 형성하는 단계를 더 포함하는 가스 센서의 제조방법
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