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가스 센서 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015091664
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가스 센서 및 그의 제조방법을 개시한다. 센서는, 기판과, 상기 기판 상에 제 1 방향으로 연장된 감지 전극과, 상기 기판 상에서 상기 제 1 방향에 교차되는 제 2 방향으로 상기 감지 전극의 양측으로 각각 이격되는 복수개의 히터들을 포함한다. 여기서, 상기 복수개의 히터들은 그래핀을 포함할 수 있다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 27/16 (2006.01.01) G01N 27/407 (2006.01.01)
CPC G01N 27/128(2013.01) G01N 27/128(2013.01) G01N 27/128(2013.01) G01N 27/128(2013.01) G01N 27/128(2013.01)
출원번호/일자 1020130101957 (2013.08.27)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0103015 (2014.08.25) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020130016535   |   2013.02.15
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.09)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유영준 대한민국 대전 유성구
2 최홍규 대한민국 부산 사상구
3 최진식 대한민국 대전 서구
4 정광효 대한민국 대전 유성구
5 김진태 대한민국 대전 유성구
6 윤두협 대한민국 대전 유성구
7 최춘기 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0782233-03
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0048803-70
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-1111997-78
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0017208-61
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0138861-36
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0422163-79
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2019-0422162-23
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2019.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0433556-13
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0845146-57
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.08.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0845147-03
13 등록결정서
Decision to grant
2019.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0814085-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 제 1 방향으로 연장된 감지 전극; 및상기 기판 상에서 상기 제 1 방향에 교차되는 제 2 방향으로 상기 감지 전극의 양측으로 각각 이격되는 복수개의 히터들을 포함하되,상기 복수개의 히터들은 그래핀을 포함하되,상기 감지 전극은 상기 히터들의 두께와 동일한 두께를 갖고, 상기 히터들 사이에 배치되어 상기 히터들과 동일한 재질의 그래핀의 채널을 포함하는 가스 센서
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 감지 전극과 상기 기판 사이의 층간 절연 층; 및상기 층간 절연 층과 상기 기판 사이의 하부 히터 층을 더 포함하되,상기 하부 히터 층은 그래핀을 포함하는 가스 센서
6 6
제 5 항에 있어서,상기 층간 절연 층은 투명 유전체를 포함하는 가스 센서
7 7
제 6 항에 있어서,상기 투명 유전체는 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 또는 헥사고널 보론 질화막을 포함하는 가스 센서
8 8
제 1 항에 있어서,상기 감지 전극의 양측 상에 분리되어 상기 제 2 방향으로 연장된 복수개의 상부 절연 패턴들; 및상기 복수개의 상부 절연 패턴들 상에 배치된 복수개의 상부 히터 층들을 더 포함하되,상기 상부 히터 층들은 그래핀을 포함하는 가스 센서
9 9
제 8 항에 있어서,상기 상부 절연 패턴들은 헥사고널 보론 질화막을 포함하는 가스 센서
10 10
제 8 항에 있어서,상기 감지 전극은: 상기 채널의 일측에 배치된 제 1 터미널; 및상기 채널의 타측에 배치된 제 2 터미널을 더 포함하되,상기 상부 절연 패턴들과 상기 상부 히터들은 상기 채널 상에 배치되는 가스 센서
11 11
제 1 항에 있어서,상기 기판은 플렉서블 기판을 포함하는 가스 센서
12 12
제 11 항에 있어서,상기 플렉서블 기판은 투명 플라스틱 기판을 포함하는 가스 센서
13 13
기판 상에 제 1 방향의 감지 전극을 형성하는 단계; 및상기 제 1 방향에 교차되는 제 2 방향의 상기 감지 전극의 양측에 복수개의 히터들을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 히터들은 그래핀을 포함하되,상기 감지 전극은 상기 히터들의 두께와 동일한 두께를 갖고, 상기 히터들 사이에 배치되어 상기 히터들과 동일한 재질의 그래핀의 채널을 포함하는 가스 센서의 제조방법
14 14
제 13 항에 있어서,상기 감지 전극과 상기 기판 사이에 하부 히터 층을 형성하는 단계; 및상기 하부 히터 층과 상기 감지 전극 사이에 층간 절연 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 가스 센서의 제조방법
15 15
제 13 항에 있어서,상기 감지 전극 및 상기 기판 상에 상부 절연 층을 형성하는 단계;상기 상부 절연 층 상에 상부 히터 층을 형성하는 단계; 및상기 상부 히터 층 및 상기 상부 절연 층을 패터닝하여 상기 감지 전극의 상기 제 1 방향의 양측 말단 상에 상부 절연 패턴들 및 상부 히터들을 형성하는 단계를 더 포함하는 가스 센서의 제조방법
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2 US20140231933 US 미국 FAMILY

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