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시편인 열전소자의 물성 측정을 위한 환경을 제공하고, 상기 시편의 양단 각각에 접촉되는 접점들을 형성하는 전극 부를 포함하는 시편 고정 모듈; 및상기 시편을 가열하는 제 1 주파수의 소스 교류 전압을 상기 전극 부에 제공하고 상기 전극 부와 상기 시편 사이의 상기 접점들에서 발생하는 온도 변화로부터 생성되는 상기 제 1 주파수보다 큰 제 2 주파수의 제 1 열전 교류 전압과, 상기 시편의 저항 변화에 의해 생성되는 상기 제 2 주파수보다 큰 제 3 주파수의 제 2 열전 교류 전압을 검출하여 열전전도도를 획득하는 측정 회로 모듈을 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 1 항에 있어서,상기 측정 회로 부는,상기 소스 교류 전압을 생성하여 상기 전극 부에 제공하는 저주파 생성기;상기 시편 양단의 상기 전극 부에 연결되고, 상기 제 1 열전 교류 전압 및 상기 제 2 열전 교류 전압을 증폭하는 제 1 차동 증폭기; 및상기 제 1 차동 증폭기와 상기 저주파 생성기에 각각 연결되어 노이즈를 제거하고 상기 제 2 열전 교류 전압을 검출하는 록인 증폭기를 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 2 항에 있어서,상기 측정 회로 부는, 상기 시편의 양단의 상기 제 1 차동 증폭기 입력부에 연결되고, 상기 제 1 열전 교류 전압을 계측하는 전압계를 더 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 시편 고정 모듈은 상기 전극 부, 상기 시편, 및 상기 접점들을 가열하는 히터를 더 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 4 항에 있어서,상기 측정 회로 부는, 상기 저주파 생성기와 상기 전극 부 사이에 직렬로 연결된 가변 저항 부;상기 가변 저항 부의 양단의 상기 저주파 생성기와 상기 전극 부에 연결된 제 2 차동 증폭기; 및상기 제 1 차동 증폭기와 상기 제 2 차동 증폭기 각각의 출력 단에 연결되고, 상기 록인 증폭기의 입력 단에 연결되는 비교기를 더 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 5 항에 있어서,상기 시편의 일단과 상기 저주파 생성기에 연결되고, 상기 시편의 타단과 상기 가변 저항 부에 연결되고, 상기 시편의 일단 및 타단과 상기 제 1 차동 증폭기의 입력 부에 각각 연결된 4 포인트 프로브들을 더 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 5 항에 있어서,상기 록인 증폭기는, 상기 제 1 주파수의 상기 소스 교류 전압을 상기 히터에 제공하는 로우 패스 필터 부를 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 7 항에 있어서,상기 록인 증폭기는, 직류 성분의 노이즈가 제거된 상기 소스 교류 전압을 상기 로우 패스 필터에 제공하는 하이 패스 필터 부를 더 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 8 항에 있어서,상기 록인 증폭기는 하이 패스 필터와 상기 로우 패스 필터 사이에 배치된 변조기 부를 더 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 4 항에 있어서,상기 시편 고정 모듈은 극저온 프루브 스테이션을 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 4 항에 있어서,상기 전극 부는,상기 시편 아래에 배치되어 상기 접점들 중 하나를 형성하는 하부 전극; 및상기 하부 전극 상의 상기 시편 위에 배치되어 상기 접점들 중 나머지 하나를 형성하는 상부 전극을 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측장치
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제 11 항에 있어서,상기 시편 고정 모듈은, 냉각 척;상기 냉각 척을 고정하는 하부 지지대;상기 냉각 척 상에 상기 시편과 상기 전극 부 상에 배치되어 상기 히터를 수용하는 매개체 블록;상기 매개체 블록을 둘러싸며 상기 히터 및 상기 매개체 블록의 온도 변화를 방지하는 단열 실린더; 및상기 단열 실린더를 상기 지지대에 고정하는 상부 지지대를 더 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 12 항에 있어서,상기 시편 고정 모듈은, 상기 하부 전극과 상기 냉각 척 사이에 배치되어 상기 접점들 중 하나의 온도를 감지하는 하부 온도 센서; 및상기 상부 전극과 상기 매개체 블록 사이에 배치되어 상기 접점들 중 나머지 하나의 온도를 감지하는 상부 온도 센서를 더 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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제 11 항에 있어서,상기 단열 실린더 내의 상기 상부 지지대와 상기 매개체 블록 사이에 배치된 압력계;상기 상부 지지대를 관통하여 상기 압력계에 연결된 피스톤 샤프트;상기 피스톤 샤프트 상에 배치되고, 상기 매개체 블록, 상기 압력계, 및 상기 피스톤 샤프트를 누르는 압력을 제공하는 에어 실린더; 및 상기 하부 지지대에 고정되고, 상기 에어 실린더, 상기 단열 실린더, 및 상기 상부 지지대를 고정하는 중심 지지대를 더 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측 장치
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시편을 시편 고정 모듈 내에 고정하고 상기 시편 고정 모듈 내의 전극 부와 상기 시편 사이에 접점을 형성하는 단계;상기 시편에 제 1 주파수의 소스 교류 전압을 인가하여 상기 접점을 국소적으로 가열하는 단계;상기 접점의 가열에 의한 온도 변화로부터 상기 제 1 주파수보다 큰 제 2 및 제 3 주파수의 제 1 및 제 2 열전 교류 전압을 측정하는 단계; 및 상기 제 1 및 제 2 열전 교류 전압을 이용하여 상기 접점에서의 열전전도도를 산출하는 단계를 포함하는 열전 소자의 계측방법
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제 15 항에 있어서,상기 접점의 가열 단계는,상기 전극 부 또는 상기 시편을 순차적으로 가열하고, 동시에 상기 상기 전극 부 또는 상기 시편의 온도를 계측하는 단계를 포함하는 열전 소자의 열전전도도 계측방법
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제 15 항에 있어서, 상기 접점은 나노 크기로 형성되는 열전 소자의 열전도 계측방법
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제 15 항에 있어서,상기 접점은 2도 케이 이하의 상기 온도 변화의 단위로 가열되는 열전 소자의 열전전도도 계측방법
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