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기판 상에 나노 와이어들을 형성하는 단계;상기 나노 와이어들 상에 장벽 층을 형성하는 단계;상기 장벽 층 상에 벌크 층을 형성하는 단계; 및상기 기판의 아래에 하부 전극과, 상기 벌크 층의 위에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하되,상기 나노 와이어들의 형성 단계는:상기 기판에 평탄한 바닥을 갖는 트렌치들을 형성하는 단계;상기 트렌치들 내에 시드들을 형성하는 단계, 상기 시드들은 상기 평탄한 바닥의 전면에 형성되되;상기 트렌치들 내에 상기 나노 와이어들을 성장하는 단계, 상기 나노와이어들의 각각은 상기 트렌치들 각각의 측벽에 접하되; 및 습식 식각 공정을 이용하여 상기 나노 와이어들 상의 상기 시드들을 제거하는 단계를 포함하고, 상기 나노 와이어들은 상기 습식식각 공정에서의 식각 용액으로부터의 쓰러짐 없이 상기 측벽에 의해 지지되는 열전 소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 나노 와이어들을 형성하는 단계는, 상기 트렌치들 내의 상기 시드를 열처리하여 상기 트렌치들 각각의 바닥으로 상기 시드들을 모으는 단계를 더 포함하는 열전 소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 시드들을 형성하는 단계는,상기 트렌치들의 내부와 상기 기판 상에 시드 금속을 증착하는 단계; 및상기 시드 금속을 패터닝하여 상기 트렌치들의 내부에 상기 시드들을 제공하는 단계를 포함하는 열전 소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 시드들 형성하는 단계는,상기 트렌치의 내부와 상기 기판 상에 시드 금속을 증착하는 단계; 및상기 시드 금속을 화학적 기계적 연마하는 단계를 포함하는 열전 소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 나노 와이어들은 상기 트렌치의 크기와 동일한 선폭 또는 두께로 형성되는 열전 소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 나노 와이어 성장 방법은 유기금속증착방법을 포함하는 열전 소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 나노 와이어들 사이에 고분자 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 열전 소자의 제조방법
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제 1 및 제 2 기판들 상에 제 1 및 제 2 나노 와이어들을 각각 형성하는 단계;상기 제 1 및 제 2 나노 와이어들 상에 제 1 및 제 2 장벽 층들을 각각 형성하는 단계;상기 제 1 및 제 2 장벽 층들 상에 제 1 및 제 2 장벽 층들을 각각 형성하는 단계;상기 제 1 및 제 2 장벽 층들 상에 제 1 및 제 2 벌크 층들을 각각 형성하는 단계;상기 제 1 및 제 2 기판 아래에 제 1 및 제 2 하부 전극들을 각각 형성하고, 상기 제 1 및 제 2 벌크 층 상에 제 1 및 제 2 상부 전극들을 형성하는 단계; 및상기 제 1 및 제 2 하부 전극들 아래에 제 1 및 제 2 냉각 패드들을 각각 형성하고, 상기 제 1 및 제 2 상부 전극들 상에 히터 패드를 형성하는 단계를 포함하되,상기 제 1 및 제 2 나노 와이어들을 형성하는 단계는:상기 제 1 및 제 2 기판들에 제 1 및 제 2 평탄한 바닥들을 갖는 제 1 및 제 2 트렌치들을 형성하는 단계;상기 제 1 및 제 2 트렌치들 내에 제 1 및 제 2 시드들을 형성하는 단계, 상기 제 1 및 제 2 시드들은 상기 제 1 및 제 2 평탄한 바닥들의 전면에 형성되되;상기 제 1 및 제 2 트렌치들 내에 상기 제 1 및 제 2 나노 와이어들을 성장하는 단계, 상기 제 1 및 제 2 나노 와이어들의 각각은 상기 제 1 및 제 2 트렌치들 각각의 측벽에 접하되; 및 습식 식각 공정을 이용하여 상기 제 1 및 제 2 시드들을 제거하는 단계를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 나노 와이어들은 상기 습식 식각 공정에서의 습식 용액으로부터의 쓰러짐 없이 상기 측벽에 의해 지지되는 열전 소자의 제조방법
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제 12 항에 있어서,상기 제 1 기판, 상기 제 1 나노 와이어, 및 상기 제 1 벌크 층들은 제 1 도전성 불순물로 도핑되고, 상기 제 2 기판, 상기 제 2 나노 와이어, 및 상기 제 2 벌크 층들은 상기 제 1 도전성 불순물과 다른 도전성을 갖는 제 2 도전성 불순물로 도핑된 열전 소자의 제조방법
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제 12 항에 있어서,상기 히터 패드는 상기 제 1 및 제 2 상부 전극들을 공통으로 연결하는 열전 소자의 제조방법
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