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전자 후각 소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015092190
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자 후각 소자의 구조를 제공한다. 이 전자 후각 소자는 리세스 영역이 제공된 제 1 영역 그리고 상기 제 1 영역의 외곽을 점유하는 제 2 영역을 갖는 기판, 상기 기판 상에 제공되며, 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 제 1 멤브레인, 상기 제 1 멤브레인 상에 제공되며, 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 발열저항체, 상기 제 1 멤브레인 상에 제공되어 상기 발열저항체를 덮으며 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 제 2 멤브레인, 상기 제 1 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 제공되는 감지전극, 상기 제 2 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 제공되는 발열저항체 패드 및 감지전극 패드, 및 상기 제 1 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 교대로 제공되는 가스흡수체 및 가스센서를 포함할 수 있다.
Int. CL G01N 27/16 (2006.01.01) G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 27/18 (2006.01.01)
CPC G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01) G01N 27/16(2013.01)
출원번호/일자 1020140019170 (2014.02.19)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-2172268-0000 (2020.10.26)
공개번호/일자 10-2015-0098066 (2015.08.27) 문서열기
공고번호/일자 (20201030) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.01.31)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문승언 대한민국 대전 유성구
2 최낙진 대한민국 대전시 유성구
3 이형근 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.02.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0163304-84
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0048888-39
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2019-0118237-51
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0118236-16
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.11.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.09 수리 (Accepted) 9-1-2019-0057214-01
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0253993-98
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2020-0584771-97
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.06.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0584772-32
11 등록결정서
Decision to grant
2020.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0727715-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 영역 그리고 상기 제 1 영역의 외곽을 점유하는 제 2 영역을 갖는 기판;상기 제 1 영역에서 상기 기판의 상부에 형성된 리세스 영역들;상기 기판 상에 제공되며, 상기 리세스 영역들과 연결되는 복수개의 제 1 구멍들을 가지는 제 1 멤브레인;상기 제 1 멤브레인 상에 제공되는 발열저항체;상기 제 1 멤브레인 상에 제공되어 상기 발열저항체를 덮으며 상기 리세스 영역들과 연결되는 복수개의 제 2 구멍들을 가지는 제 2 멤브레인; 및상기 제 1 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 제공되는 가스흡수체들 및 가스센서들을 포함하되, 상기 가스 센서들은 전기화학식 가스 센서를 포함하며,상기 전기 화학식 가스 센서는,상기 제 2 멤브레인 상에 배치되는 고체 전해질 패턴; 상기 제 2 멤브레인 상에 배치되며 상기 고체 전해질 패턴의 일 단부와 접하는 기준 물질 패턴; 및상기 제 2 멤브레인 상에 배치되며 상기 고체 전해질 패턴의 다른 단부와 접하는 감지 물질 패턴을 포함하는 전자 후각 소자
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 1 구멍들은 상기 제 2 구멍들과 각각 수직적으로 중첩되는 전자 후각 소자
3 3
제 1 항에 있어서,상기 가스흡수체들과 상기 가스센서들은 제 1 방향을 따라 교대로 배치되는 전자 후각 소자
4 4
제 1 항에 있어서,상기 가스 센서들은 반도체식 가스센서 및 접촉연소식 가스센서 중 적어도 하나를 더 포함하는 전자 후각 소자
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제 2 구멍들은 상기 가스 흡수체들과 상기 가스 센서들 사이에 배치되는 전자 후각 소자
6 6
제 1 항에 있어서,상기 리세스 영역들은 상기 제 1 멤브레인의 하부면을 노출시키는 전자 후각 소자
7 7
삭제
8 8
제 1 항에 있어서,상기 기준 물질 패턴과 상기 감지 물질은 각각 평면적으로 인터디지털, 그리드형 및 사각형 중 어느 하나의 형태를 가지는 전자 후각 소자
9 9
제 1 항에 있어서,상기 제 2 영역에서 상기 제 2 멤브레인 상에 배치되는 발열저항체 패드 및 감지 전극 패드를 더 포함하는 전자 후각 소자
10 10
서로 대향되는 제 1 면과 제 2 면을 가지는 기판;상기 제 1 면에 인접한 상기 기판에 형성된 제 1 리세스 영역들;상기 제 2 면에 인접한 상기 기판에 형성된 제 2 리세스 영역들;상기 기판의 제 1 면 상에 제공되며 상기 제 1 리세스된 영역들과 연결되는 복수개의 제 1 구멍들을 가지는 제 1 멤브레인;상기 기판의 제 2 면 상에 제공되며 상기 제 2 리세스된 영역들과 연결되는 복수개의 제 2 구멍들을 가지는 제 2 멤브레인;상기 제 1 멤브레인 상에 배치되며 서로 이격된 가스 흡수체들; 및상기 제 2 멤브레인 상에 배치되며 서로 이격된 가스 센서들을 포함하는 전자 후각 소자
11 11
제 10 항에 있어서,상기 제 1 구멍들은 상기 가스 흡수체들 사이에 배치되고,상기 제 2 구멍들은 상기 가스 센서들 사이에 배치되는 전자 후각 소자
12 12
제 10 항에 있어서,상기 가스 흡수체들 사이 또는 상기 가스 센서들 사이에서 상기 제 2 멤브레인, 상기 기판 및 상기 제 1 멤브레인을 관통하는 가스흐름용 구멍을 더 포함하는 전자 후각 소자
13 13
제 12 항에 있어서,상기 가스흐름용 구멍은 위치에 따라 폭이 다른 전자 후각 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국전자통신연구원 산업원천기술개발사업(ETRI연구개발지원사업) 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 개발