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위상 변환 마스크의 제조장치

  • 기술번호 : KST2015092204
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 위상 변환 마스크의 제조장치에 관한 것으로, 전자빔을 소스에 집속시켜 이온들을 형성한 후, 이온들이 위상 변환 조절부를 통과하여 웨이퍼 상에 증착되는 장치로써, 웨이퍼 상에 증착된 위상 변환 마스크는 회전 방향에 따라 점진적으로 두께가 증가하며, 위상 변환 마스크에 레이저 빔을 공급하면 위상이 변환된 광 보텍스 빔을 생성할 수 있는 위상 변환 마스크의 제조장치를 제공한다.본 발명의 실시예에 따른 위상 변환 마스크의 제조장치는 전자빔을 소스에 집속시켜 이온들을 발생시키는 전자빔 발생부 및 상기 이온들이 통과하되, 웨이퍼의 회전 방향에 따라 상기 이온들의 증착 정도를 조절하는 위상 변환 마스크 조절부를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) G03F 1/26 (2012.01)
CPC C23C 14/044(2013.01) C23C 14/044(2013.01)
출원번호/일자 1020140005528 (2014.01.16)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0085639 (2015.07.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송동훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 표현봉 대한민국 대전광역시 유성구
3 박형주 대한민국 경기도 수원시 팔달구
4 정문연 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태평양 대한민국 서울특별시 중구 청계천로 **, *층(다동, 예금보험공사빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2014-0045764-27
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
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전자빔을 소스에 집속시켜 이온들을 발생시키는 전자빔 발생부; 및상기 이온들이 통과하되, 웨이퍼의 회전 방향에 따라 상기 이온들의 증착 정도를 조절하는 위상 변환 마스크 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 위상 변환 마스크의 제조장치
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국전자통신연구원 산업원천기술개발사업(ETRI연구개발지원사업) 종양치료용 레이저 이온 가속 시스템 원천기술 개발