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광전물질이 포함된 전계방출 에미터를 갖는 전계방출소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015092220
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 전계방출소자는 대향하는 아노드 전극과 캐소드 전극, 상기 아노드 전극 상에 제공된 카운터층; 및 상기 캐소드 전극 상에 제공되고 상기 카운터층을 바라보는 전계방출 에미터를 포함한다. 상기 전계방출 에미터는 냉전자를 방출하는 탄소나노튜브 그리고 광전자를 방출하는 광전물질을 포함한다.
Int. CL H01J 1/304 (2006.01.01) H01J 3/02 (2006.01.01) H01J 9/02 (2006.01.01) H01J 9/14 (2006.01.01) H01J 31/12 (2006.01.01)
CPC H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01)
출원번호/일자 1020140016088 (2014.02.12)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-2032291-0000 (2019.10.08)
공개번호/일자 10-2015-0060490 (2015.06.03) 문서열기
공고번호/일자 (20191108) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020130144622   |   2013.11.26
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.05.14)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재우 대한민국 대전 서구
2 송윤호 대한민국 대전 서구
3 정진우 대한민국 대전 유성구
4 강준태 대한민국 대구 서구
5 최성열 대한민국 울산 울주군
6 최정용 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0138431-98
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0048888-39
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-0469563-28
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.11.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0060121-90
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0141479-79
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2019-0435874-16
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0435875-62
10 등록결정서
Decision to grant
2019.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0584937-02
11 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2019.10.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-5033301-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
대향하는 아노드 전극과 캐소드 전극;상기 아노드 전극 상에 제공된 카운터층;상기 캐소드 전극 상에 제공되고, 상기 카운터층을 바라보는 전계방출 에미터; 및상기 캐소드 전극과 상기 전계방출 에미터 사이에 제공된 제1 광전물질층을 포함하고,상기 전계방출 에미터는 냉전자를 방출하는 탄소나노튜브 그리고 광전자를 방출하는 광전물질을 포함하는 전계방출소자
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 광전물질층은 상기 아노드 전극을 바라보는 상기 캐소드 전극의 표면 전체 혹은 일부를 덮는 전계방출소자
3 3
제2항에 있어서,상기 광전물질과 상기 제1 광전물질층 중 적어도 어느 하나는:포타슘옥사이드(potassium oxide), 세슘옥사이드(Cesium oxide), 갈륨포스파이드(gallium phosphide), 갈륨나이트라이드(gallium nitride), 알루미늄(aluminum), 인듐아세나이드(indium arsenide), 게르마늄(germanium), 실리콘(Si), 갈륨아세나이드(gallium arsenide), 세슘텔루라이드(cesium telluride), 세슘아이오다이드(cesium iodide), 세슘-칼륨-텔륨(Cs-K-Te), 칼륨-텔륨(K-Te), 은-산소-세슘(Ag-O-Cs), 인듐-갈륨-비소(In-Ga-As), 혹은 이들의 조합을:포함하는 전계방출소자
4 4
제1항에 있어서,상기 카운터층은 형광층 혹은 금속타겟을 포함하는 전계방출소자
5 5
제1항에 있어서,상기 캐소드 전극과 상기 아노드 전극 사이에 제공된 게이트 전극을;더 포함하는 전계방출소자
6 6
제5항에 있어서,상기 아노드 전극을 바라보는 상기 게이트 전극의 표면 상에 제공된 제2 광전물질층을;더 포함하는 전계방출소자
7 7
제6항에 있어서,상기 캐소드 전극과 상기 전계방출 에미터 사이에 제공된 제1 광전물질층을 더 포함하고,상기 제2 광전물질층은 상기 제1 광전물질층과 동일한 물질을 포함하는 전계방출소자
8 8
제6항에 있어서,상기 제2 광전물질층은 상기 아노드 전극을 바라보는 상기 게이트 전극의 표면 전체 혹은 일부를 덮는 전계방출소자
9 9
제5항에 있어서,상기 전계방출 에미터는 상기 캐소드 전극 상에 분산된 복수개의 국부 전계방출 에미터들을 포함하는 전계방출소자
10 10
제9항에 있어서,상기 게이트 전극은 상기 복수개의 국부 전계방출 에미터들과 정렬된 복수개의 홀들을 포함하는 전계방출소자
11 11
제1항에 있어서,상기 전계방출 에미터는 나노와이어를 더 포함하고,상기 나노와이어는 금(Au), 은(Ag), 갈륨아세나이드(gallium arsenide), 혹은 이들의 조합을 포함하는 전계방출소자
12 12
카운터층이 제공된 아노드 전극;상기 아노드 전극과 이격되며, 상기 카운터층과 대면하는 전계방출 에미터가 제공된 캐소드 전극; 및상기 캐소드 전극과 상기 전계방출 에미터 사이에 제공된 제1 광전물질층을 포함하고,상기 전계방출 에미터는:광전물질과 금속입자가 용융되어 경화된 전계방출 페이스트; 및상기 전계방출 페이스트에 제공되고 상기 전계방출 페이스트로부터 상기 아노드 전극을 향해 돌출된 탄소나노튜브를 포함하고,상기 탄소나노튜브로부터는 전계효과에 따른 냉전자방출이 발생되고,상기 광전물질로부터는 입사광에 따른 광전자방출이 발생되는 전계방출소자
13 13
제12항에 있어서,상기 전계방출 에미터는 상기 전계방출 페이스트에 제공되고 그리고 상기 전계방출 페이스트로부터 돌출된 나노와이어를;더 포함하는 전계방출소자
14 14
제12항에 있어서,상기 캐소드 전극과 상기 아노드 전극 사이에 제공되고, 그리고 상기 캐소드 전극과 상기 아노드 전극과 이격된 게이트 전극을 더 포함하고,상기 게이트 전극은 상기 전계방출 에미터로부터 발생되는 상기 냉전자방출과 상기 광전자방출이 통과하는 게이트 홀을 포함하는 전계방출소자
15 15
제14항에 있어서,상기 아노드 전극을 바라보는 상기 게이트 전극의 표면 전체 혹은 일부를 덮는 제2 광전물질층을 더 포함하고,상기 제2 광전물질층은 상기 제1 광전물질층과 동일한 물질을 포함하는 전계방출소자
16 16
캐소드 전극 상에 탄소나노튜브, 광전물질, 금속입자, 유기바인더 및 용매가 혼합된 탄소나노튜브 페이스트를 형성하고;상기 탄소나노튜브 페이스트를 건조시켜 상기 용매를 제거하고;상기 탄소나노튜브 페이스트를 소성하여 상기 유기바인더를 제거하고 그리고 상기 광전물질과 상기 금속입자를 용융시키고;상기 광전물질과 상기 금속입자가 용융되어 형성된 전계방출 에미터를 표면 활성화처리하는 것;상기 캐소드 전극 상에, 상기 캐소드 전극과 이격되는 게이트 전극을 형성하고; 그리고상기 게이트 전극 상에 상기 캐소드 전극과 대향하는 방향을 바라보는 제2 광전물질층을 형성하는 것을 포함하고,상기 광전물질은 상기 전계방출 에미터에 입사되는 광의 진동수보다 낮은 임계진동수를 가지는 물질을 포함하는 전계방출소자의 제조방법
17 17
제16항에 있어서,상기 광전물질은:포타슘옥사이드(potassium oxide), 세슘옥사이드(Cesium oxide), 갈륨포스파이드(gallium phosphide), 갈륨나이트라이드(gallium nitride), 알루미늄(aluminum), 인듐아세나이드(indium arsenide), 게르마늄(germanium), 실리콘(Si), 갈륨아세나이드(gallium arsenide), 세슘텔루라이드(cesium telluride), 세슘아이오다이드(cesium iodide), 세슘-칼륨-텔륨(Cs-K-Te), 칼륨-텔륨(K-Te), 은-산소-세슘(Ag-O-Cs), 인듐-갈륨-비소(In-Ga-As), 혹은 이들의 조합을:포함하는 전계방출소자의 제조방법
18 18
제16항에 있어서,상기 캐소드 전극과 대향하는 아노드 전극을 제공하고; 그리고상기 아노드 전극 상에 상기 전계방출 에미터를 바라보는 카운터층을 형성하는 것을 더 포함하고,상기 카운터층은 형광층 혹은 금속타겟을 포함하는 전계방출소자의 제조방법
19 19
제18항에 있어서,상기 탄소나노튜브 페이스트를 형성하기 이전에,상기 캐소드 전극 상에 제1 광전물질층을 형성하는 것을;더 포함하는 전계방출소자의 제조방법
20 20
제18항에 있어서,상기 게이트 전극은 상기 캐소드 전극과 상기 아노드 전극 사이에 형성되고, 상기 캐소드 전극 및 상기 아노드 전극과 이격되고; 그리고상기 제2 광전물질층은 상기 게이트 전극 상에 상기 카운터층을 바라보는 전계방출소자의 제조방법
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