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1
제 1 유전체층;상기 제 1 유전체층의 상부에 형성된 그래핀 광 전송선로;상기 제 1 유전체층의 상부에 형성되고, 상기 그래핀 광 전송선로를 따라 전송되는 광을 검출하는 그래핀 광검출기;상기 그래핀 광검출기 상부에 형성된 전기 배선들;상기 그래핀 광검출기의 양 끝단에 위치하고, 상기 전기 배선들이 연결되는 금속 패드들; 및상기 그래핀 광 전송선로의 상부에 형성된 제 2 유전체층을 포함하고,상기 그래핀 광검출기는 상기 그래핀 광 전송선로의 표면에 수평 방향으로 입사되는 광의 세기를 검출하는 것을 특징으로 하는 광검출기
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2
제 1 항에 있어서,상기 금속 패드들은상기 그래핀 광검출기를 기준으로 일 측면에 위치하고, 플러스 전극이 인가되는 제 1 금속 패드; 및상기 그래핀 광검출기를 기준으로 다른 측면에 위치하고, 마이너스 전극이 인가되는 제 2 금속 패드를 포함하는 광검출기
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3
제 2 항에 있어서,상기 광검출기는상기 제 1 금속 패드와 상기 그래핀 광 전송선로에 각각 연결되어 게이트 바이어스 전압을 인가하는 바이어스부를 더 포함하는 광검출기
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4
제 2 항에 있어서,상기 전기 배선들은상기 그래핀 광 전송선로를 기준으로 수직 방향으로 위치하고, 상기 제 1 금속 패드에 연결되는 제 1 전기 배선들; 및상기 그래핀 광 전송선로를 기준으로 수직 방향으로 위치하고, 상기 제 2 금속 패드 에 연결되는 제 2 전기 배선들을 포함하는 광검출기
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5
제 4 항에 있어서,상기 제 1 전기 배선들과 상기 제 2 전기 배선들은 상호 간에 일정 간격을 기준으로 맞물린 전극 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 광검출기
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6
제 2 항에 있어서,상기 전기 배선들은그래핀 광 전송선로를 기준으로 수직 방향으로 위치하고, 상기 제 1 금속 패드에 연결된 제 1 기준 전기 배선;상기 그래핀 광 전송선로를 기준으로 수직 방향으로 위치하고, 상기 제 2 금속 패드에 연결된 제 2 기준 전기 배선;상기 제 1 기준 전기 배선에 연결되고, 상기 그래핀 광 전송선로를 기준으로 수평 방향으로 위치하는 제 1 전기 배선들; 및상기 제 2 기준 전기 배선에 연결되고, 상기 그래핀 광 전송선로를 기준으로 수평 방향으로 위치하는 제 2 전기 배선들을 포함하는 광검출기
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7
제 6 항에 있어서,상기 제 1 전기 배선들과 상기 제 2 전기 배선들은 상호 간에 일정 간격을 기준으로 맞물린 전극 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 광검출기
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8
제 2 항에 있어서,상기 제 1 금속 패드와 상기 제 1 금속 패드에 연결된 전기 배선들과, 상기 제 2 금속 패드와 상기 제 2 금속 패드에 연결된 전기 배선들은 상호 간에 서로 다른 단일 금속 또는 상기 단일 금속들의 서로 다른 결합 구조로 구성되는 것을 특징으로 하는 광 검출기
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9
제 8 항에 있어서,상기 서로 다른 금속들의 결합 형태는 금속 합금 또는 금속 적층 구조를 갖는 결합 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 검출기
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10
제 8 항에 있어서,상기 단일 금속은 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 납(Pb), 및 금(Au) 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 검출기
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11
제 1 항에 있어서,상기 그래핀 광 전송선로와 상기 그래핀 광검출기는 동일한 그래핀 필름에서 동시에 제작된 것을 특징으로 하는 광검출기
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12
제 1 항에 있어서,상기 그래핀 광검출기는 상기 그래핀 광 전송선로와 일정 간격 이격되고, 상기 그래핀 광 전송선로와 상호 간에 십(+)자 형태로 교차되고, 상기 금속 패드들 사이를 연결하는 것을 특징으로 하는 광검출기
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13
제 12 항에 있어서,상기 광검출기는상기 그래핀 광검출기와 상기 그래핀 광 전송선로 사이에 위치한 중간 유전체층을 더 포함하는 광검출기
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14
제 1 유전체층;상기 제 1 유전체층의 상부에 형성된 그래핀 광 전송선로;상기 제 1 유전체층의 상부에 형성되고, 상기 그래핀 광 전송선로를 따라 전송되는 광을 검출하는 그래핀 광검출기;상기 그래핀 광검출기의 양 끝단에 위치하고, 상기 그래핀 광검출기를 통해 연결되는 금속 패드들; 및상기 그래핀 광 전송선로의 상부에 형성된 제 2 유전체층을 포함하고,상기 그래핀 광검출기는 상기 그래핀 광 전송선로의 표면에 수평 방향으로 입사되는 광의 세기를 검출하는 것을 특징으로 하는 광검출기
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15
제 14 항에 있어서,상기 금속 패드들은상기 그래핀 광 전송선로를 기준으로 측면에 위치하고, 플러스 전극이 인가되는 제 1 금속 패드; 및상기 그래핀 광 전송선로를 기준으로 다른 측면에 위치하고, 마이너스 전극이 인가되는 제 2 금속 패드를 포함하는 광검출기
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16
제 15 항에 있어서,상기 제 1 금속 패드와 상기 제 2 금속 패드는 상호 간에 서로 다른 단일 금속 또는 상기 단일 금속들의 서로 다른 결합 구조로 구성되는 것을 특징으로 하는 광 검출기
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17
제 16 항에 있어서,상기 서로 다른 금속들의 결합 형태는 금속 합금 또는 금속 적층 구조를 갖는 결합 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 검출기
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18
제 16 항에 있어서,상기 단일 금속은 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 납(Pb), 및 금(Au) 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 검출기
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19
제 14 항에 있어서,상기 그래핀 광 전송선로의 중심선과 상기 금속 패드들 중 하나와의 거리를 상기 금속패드들 사이의 거리로 나눈 비율이 약 0
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20
제 14 항에 있어서,상기 그래핀 광 전송선로와 상기 그래핀 광검출기는 십(+)자 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 광검출기
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