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금속 포일에 칼코겐 기체가 접촉함에 의해 생성되는 반응에 따라 저항 변화를 일으키는 반응부;상기 저항 변화에 따른 저항값을 측정하는 측정부;상기 저항값에 따라 상기 칼코겐 기체의 존재 여부와 농도 중 적어도 하나를 측정하는 연산부; 및상기 측정된 결과를 출력하는 표시부를 포함하고,상기 금속 포일은 칼코겐 기체와의 반응 결과에 따라 교체되는 것을 특징으로 하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 1 항에 있어서,상기 칼코겐 기체 모니터링 장치는상기 금속 포일의 종류에 따라 상기 존재 여부와 상기 농도 측정을 위한 파라미터를 입력받고, 입력받은 파라미터를 상기 연산부로 제공하는 입력부를 더 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 2 항에 있어서,상기 파라미터는 상기 금속 포일의 종류, 상기 칼코겐 기체의 종류, 및 상기 저항값에 따른 환산 농도를 포함하는 것을 특징으로 하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 1 항에 있어서,상기 측정부는 상기 측정된 저항값을 상기 표시부로 출력하는 것을 특징으로 하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 1 항에 있어서,상기 반응부는상기 금속 포일과 접촉되고, 상기 칼코겐 기체와 반응에 따른 저항값을 상기 측정부로 출력하는 두 개의 금속 전극들을 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 5 항에 있어서,상기 금속 전극들은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 철(Fe), 크롬(Cr), 금(Au), 은(Ag), 및 몰리브덴(Mo) 중 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 5 항에 있어서,상기 반응부는상기 금속 전극과 상기 금속 포일을 지지하는 지지층; 및상기 금속 포일, 상기 금속 전극들, 상기 지지층을 보호하고, 상기 금속 포일이 상기 칼코겐 기체와 접촉할 수 있도록 일부가 개방되어 있는 덮개를 더 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 5 항에 있어서,상기 반응부는상기 금속 포일의 전기적 특성과 화학적 특성 중 적어도 하나를 검출하는 금속 감지 센서를 더 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 8 항에 있어서,상기 칼코겐 기체 모니터링 장치는상기 금속 감지 센서를 통해 검출된 정보를 이용하여 상기 금속 포일의 종류를 결정하는 금속 포일 결정부를 더 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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10
제 9 항에 있어서,상기 금속 포일의 종류에 따라 상기 존재 여부와 상기 농도 측정을 위한 파라미터를 입력받고, 입력받은 파라미터를 상기 연산부로 제공하는 입력부를 더 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 10 항에 있어서,상기 파라미터는 상기 칼코겐 기체의 종류, 및 상기 저항값에 따른 환산 농도를 포함하는 것을 특징으로 하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 1 항에 있어서,상기 금속 포일은 구리(Cu), 아연(Zn), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 니켈(Ni), 및 크롬(Cr) 중 하나로 구성된 것을 특징으로 하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 1 항에 있어서,상기 연산부는 상기 저항값이 미리 설정된 기준값 이상으로 변화하지 않으면, 상기 표시부로 상기 금속 포일의 교체를 지시하는 정보를 출력하는 것을 특징으로 하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 1 항에 있어서,상기 반응부는상기 금속 포일이 상기 칼코겐 기체와의 반응에 따른 색상 변화를 검출하기 위한 컬러 센서를 더 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 14 항에 있어서,상기 측정부는 상기 색상 변화를 측정하고,상기 연산부는 상기 색상 변화에 따른 칼코겐 기체의 존재 여부와 농도 중 적어도 하나를 측정하는 것을 특징으로 하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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칼코겐 기체와의 반응에 따라 저항 변화를 일으키는 반응부;상기 저항 변화에 따른 저항값을 측정하는 측정부;상기 저항값에 따라 상기 칼코겐 기체의 존재 여부와 농도 중 적어도 하나를 측정하는 연산부; 및상기 측정된 결과를 출력하는 표시부를 포함하고,상기 반응부는칼코겐 기체와의 반응 결과에 따라 교체되는 금속 포일; 및상기 금속 포일과 접촉되고, 상기 칼코겐 기체와 반응에 따른 저항값를 상기 측정부로 출력하는 두 개의 금속 전극들을 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 16 항에 있어서,상기 반응부는상기 금속 전극과 상기 금속 포일을 지지하는 지지층; 및상기 금속 포일, 상기 금속 전극들, 상기 지지층을 보호하고, 상기 금속 포일이 상기 칼코겐 기체와 접촉할 수 있도록 일부가 개방되어 있는 덮개를 더 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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칼코겐 기체와의 반응에 따라 저항 변화를 일으키는 반응부;상기 저항 변화에 따른 저항값을 측정하는 측정부;상기 금속 포일의 전기적 특성과 화학적 특성 중 적어도 하나에 의해 상기 금속 포일의 금속 물질을 결정하는 금속 포일 결정부;상기 저항값과 상기 결정된 금속 물질에 따라 상기 칼코겐 기체의 존재 여부와 농도 중 적어도 하나를 측정하는 연산부; 및상기 측정된 결과를 출력하는 표시부를 포함하고,상기 반응부는칼코겐 기체와의 반응 결과에 따라 교체되는 금속 포일;상기 금속 포일과 접촉되고, 상기 칼코겐 기체와 반응에 따른 저항값을 상기 측정부로 출력하는 두 개의 금속 전극들; 및상기 금속 포일의 전기적 특성과 화학적 특성 중 적어도 하나를 검출하는 금속 감지 센서를 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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제 18 항에 있어서,상기 반응부는상기 금속 전극, 상기 금속 포일, 및 상기 금속 감지 센서를 지지하는 지지층; 및상기 금속 포일, 상기 금속 전극들, 상기 지지층을 보호하고, 상기 금속 포일이 상기 칼코겐 기체와 접촉할 수 있도록 일부가 개방되어 있는 덮개를 더 포함하는 칼코겐 기체 모니터링 장치
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