맞춤기술찾기

이전대상기술

산화물 반도체 형성방법

  • 기술번호 : KST2015092594
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화물 반도체 형성방법을 제공한다. 이 산화물 반도체 형성방법은 반응기 내에 용매를 채우는 것, 상기 반응기에 산화물반도체막이 형성된 기판을 넣는 것, 및 상기 반응기를 가열하여 상기 산화물반도체막을 용매열처리하는 것을 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/28 (2006.01.01)
CPC H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01)
출원번호/일자 1020140021441 (2014.02.24)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0100088 (2015.09.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.02.22)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 오힘찬 대한민국 서울 관악구
2 황치선 대한민국 대전 유성구
3 양종헌 대한민국 대전 유성구
4 추혜용 대한민국 대전 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0179926-81
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0048888-39
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-1011952-77
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-0192258-23
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.02.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0192257-88
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0112399-37
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0583150-22
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2020-0972211-97
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0972212-32
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반응기 내에 용매를 채우는 것;상기 반응기에 산화물반도체막이 형성된 기판을 넣는 것; 및상기 반응기를 가열하여 상기 산화물반도체막을 용매열처리하는 것을;포함하는 산화물 반도체 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국전자통신연구원 기가코리아 사업 디지털 홀로그래픽 테이블탑형 단말 기술 개발