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가스 모니터링 장치 및 그를 포함하는 플라즈마 공정 설비

기술번호 : KST2015092661
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 공정 가스 모니터링 장치 및 그를 구비한 플라즈마 공정 설비를 개시한다. 그의 장치는, 가스 유입구, 가스 배출구, 및 윈도우들을 갖는 하우징과, 상기 윈도우들 중 어느 하나에 인접하여 상기 하우징 외부에 배치되고, 상기 가스 유입구 및 상기 가스 배출구 사이에 제공되는 가스에 소스 광을 제공하는 광원과,상기 윈도우들 중 나머지 하나에 인접하여 상기 하우징 외부에 배치되고, 상기 소스 광에 의해 상기 가스로부터 발광되는 형광을 감지하는 센서와, 상기 가스 유입구 및 상기 가스 배출구 사이의 상기 하우징 내에 배치되고, 상기 광원 및 상기 센서 사이의 상기 가스를 가열하여 상기 가스로부터의 상기 형광을 증가시키는 코일을 포함한다..
Int. CL	H05H 1/46 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC	H01L 21/67253(2013.01) H01L 21/67253(2013.01) H01L 21/67253(2013.01) H01L 21/67253(2013.01) H01L 21/67253(2013.01) H01L 21/67253(2013.01) H01L 21/67253(2013.01)
출원번호/일자	1020140113902 (2014.08.29)
출원인	한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2015-0096622 (2015.08.25) 문서열기
공고번호/일자	문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보	대한민국 \| 1020140017207 \| 2014.02.14
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2015.12.21)
심사청구항수	13

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국전자통신연구원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	윤선진	대한민국	대전광역시 북유성대로*
2	이규성	대한민국	서울특별시 강서구
3	임정욱	대한민국	대전광역시 유성구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인 고려	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로 길 * *층(역삼동)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한국전자통신연구원		대전광역시 유성구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2014.08.29	수리 (Accepted)	1-1-2014-0826703-16
2	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)	2015.01.16	수리 (Accepted)	1-1-2015-0048901-46
3	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.02.02	수리 (Accepted)	4-1-2015-0006137-44
4	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2015.12.21	수리 (Accepted)	1-1-2015-1251501-27
5	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2016.10.19	수리 (Accepted)	1-1-2016-1011976-62
6	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2017.06.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0448654-50
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2017.08.17	수리 (Accepted)	1-1-2017-0792103-04
8	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2017.08.17	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2017-0792104-49
9	최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal	2017.12.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0890174-47
10	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2018.01.22	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2018-0070810-65
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2018.01.22	수리 (Accepted)	1-1-2018-0070809-18
12	등록결정서 Decision to grant	2018.06.12	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0395907-19

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 제 1 방향으로 정렬된 가스 유입구와 가스 배출구를 갖고, 상기 가스 유입구와 상기 가스 배출구 사이에 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 정렬된 제 1 및 제 2 윈도우들을 갖는 하우징;상기 제 1 윈도우에 인접하여 배치되고, 상기 가스 유입구 및 상기 가스 배출구 사이에 제공되는 가스에 상기 제 2 방향으로 레이저 광을 제공하는 레이저 광원;상기 제 2 윈도우에 인접하여 배치되고, 상기 레이저 광에 의해 상기 가스로부터 발광되는 형광을 감지하는 센서; 및상기 제 1 및 제 2 윈도우들 사이에 배치되어 상기 제 1 및 제 2 윈도우들 사이의 상기 가스를 가열하는 코일을 포함하되,상기 코일은 상기 제 1 윈도우로부터 상기 제 2 윈도우까지 상기 레이저 광을 통과시키고, 상기 레이저 광의 진행 방향과 동일한 상기 제 2 방향을 따라 상기 제 1 윈도우로부터 상기 제 2 윈도우까지 감기는 가스 모니터링 장치
2	2 제 1 항에 있어서,상기 코일은 필라멘트를 포함하는 가스 모니터링 장치
3	3 제 1 항에 있어서,상기 코일은 상기 레이저 광과 동일한 코일링 중심을 갖는 가스 모니터링 장치
4	4 삭제
5	5 제 1 항에 있어서,상기 코일은 상기 가스 유입구 및 상기 가스 배출구와 동일한 방향으로 정렬되는 가스 모니터링 장치
6	6 제 1 항에 있어서,상기 제 1 윈도우 및 상기 제 2 윈도우는 상기 레이저 광을 투과하는 가스 모니터링 장치
7	7 제 1 항에 있어서,상기 센서와 상기 제 2 윈도우 사이에 배치되고, 상기 레이저 광을 제거하는 광 필터를 더 포함하는 가스 모니터링 장치
8	8 삭제
9	9 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 윈도우들은, 상기 레이저 광의 진행 방향의 사선 방향으로 상기 하우징의 측벽에 형성되고 상기 코일과 동일한 방향으로 정렬된 제 3 윈도우를 더 포함하는 가스 모니터링 장치
10	10 제 9 항에 있어서, 상기 제 3 윈도우의 상기 하우징 외부에 배치되고 상기 제 3 윈도우에 투과되는 상기 형광을 감지하는 제 2 센서를 더 포함하는 가스 모니터링 장치
11	11 플라즈마 공정이 수행되는 챔버;상기 챔버 내의 가스를 배기하는 펌핑 배관; 및상기 펌핑 배관 내의 상기 가스로부터 상기 플라즈마 공정의 처리 종료 시점을 감지하는 가스 모니터링 장치를 포함하되,상기 가스 모니터링 장치는: 상기 펌핑 배관으로 연결되고 제 1 방향으로 정렬된 가스 유입구와 가스 배출구를 갖고, 상기 가스 유입구와 상기 가스 배출구 사이에 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 정렬된 제 1 및 제 2 윈도우들을 갖는 하우징;상기 제 1 윈도우에 인접하여 배치되고, 상기 가스 유입구 및 상기 가스 배출구 사이에 제공되는 상기 가스에 상기 제 2 방향으로 레이저 광을 제공하는 레이저 광원;상기 제 2 윈도우에 인접하여 배치되고, 상기 레이저 광에 의해 상기 가스로부터 발광되는 형광을 감지하는 센서; 및상기 제 1 및 제 2 윈도우들 사이에 배치되어 상기 제 1 및 제 2 윈도우들 사이의 상기 가스를 가열하는 코일을 포함하되,상기 코일은 상기 제 1 윈도우로부터 상기 제 2 윈도우까지 상기 레이저 광을 통과시키고, 상기 레이저 광의 진행 방향과 동일한 상기 제 2 방향을 따라 상기 제 1 윈도우로부터 상기 제 2 윈도우까지 감기는 플라즈마 공정 설비
12	12 제 11 항에 있어서,상기 펌핑 배관에 연결된 펌프를 더 포함하되,상기 펌프는:상기 챔버에 인접한 제 1 펌프; 및상기 제 1 펌프 후단의 상기 펌핑 배관에 연결된 제 2 펌프를 포함하는 플라즈마 공정 설비
13	13 제 12 항에 있어서,상기 펌핑 배관은:상기 챔버, 상기 제 1 펌프, 및 상기 제 2 펌프를 연결하는 메인 펌핑 배관; 및상기 챔버와 상기 제 1 펌프 사이의 상기 메인 펌핑 배관에서 분기되어 상기 제 1 펌프와 상기 제 2 펌프 사이의 상기 메인 펌핑 배관에 연결되는 러핑 배관을 포함하는 플라즈마 공정 설비
14	14 제 13 항에 있어서,상기 가스 유입구 및 상기 가스 배출구는 상기 제 1 펌프와 상기 제 2 펌프 사이의 상기 메인 펌핑 배관에 연결되는 플라즈마 공정 설비
15	15 제 12 항에 있어서,상기 가스 모니터링 장치는 상기 챔버와 상기 제 1 펌프 사이에 배치되는 플라즈마 공정 설비

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US10153141	US	미국	FAMILY
2	US20150235816	US	미국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	산업통상자원부	한국전자통신연구원	에너지국제공동기술개발사업	유연성 철강소재 기판상에서 효율13%를 갖는 Si/SiGe 탠덤 박막 태양전지 개발

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2014.08.29	수리 (Accepted)	1-1-2014-0826703-16
2	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서	2015.01.16	수리 (Accepted)	1-1-2015-0048901-46
3	출원인정보변경(경정)신고서	2015.02.02	수리 (Accepted)	4-1-2015-0006137-44
4	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서	2015.12.21	수리 (Accepted)	1-1-2015-1251501-27
5	[출원서등 보정]보정서	2016.10.19	수리 (Accepted)	1-1-2016-1011976-62
6	의견제출통지서	2017.06.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0448654-50
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2017.08.17	수리 (Accepted)	1-1-2017-0792103-04
8	[명세서등 보정]보정서	2017.08.17	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2017-0792104-49
9	최후의견제출통지서	2017.12.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0890174-47
10	[명세서등 보정]보정서	2018.01.22	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2018-0070810-65
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2018.01.22	수리 (Accepted)	1-1-2018-0070809-18
12	등록결정서	2018.06.12	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0395907-19

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