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나노 홀 어레이를 갖는 템플레이트를 포함하되,상기 나노 홀 어레이는 금속 자성체가 채워진 것을 특징으로 하는, 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자
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제1항에 있어서,상기 나노 홀 어레이의 일 면에 형성된 금속 자성체층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노 홀 어레이의 각 나노 홀은,상기 금속 자성체로 적어도 일 부분만 채워진 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자
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제3항에 있어서,상기 나노 홀 어레이의 다른 일 면에 형성된 제1전극; 및 상기 나노 홀 어레이에 대향하는, 상기 금속 자성체층의 일 면에 형성된 제2전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자
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5
제1항에 있어서,상기 나노 홀 어레이에 포함되는 나노 홀의 기하구조는,원통형 또는 다각형의 기둥 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자
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6
제1항에 있어서,상기 나노 홀 어레이에 포함되는 나노 홀 간의 간격은,균일하거나 또는 부분적으로 상이한 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자
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7
제1항에 있어서,상기 나노 홀 어레이에 포함되는 나노 홀의 기하구조, 나노 홀 간의 간격, 상기 나노 홀 어레이에 채워지는 금속 자석체의 종류 및 양 중 적어도 하나는, 상이기 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자에 가해지는 전자기파의 주파수에 따라서 결정 가능한 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자
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8
제1항에 있어서,상기 나노 홀 어레이에 채워지는 금속 자성체는 동일한 스핀 방향을 갖는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자
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9
나노 홀 어레이를 갖는 템플레이트를 형성하는 단계; 및상기 나노 홀 어레이에 금속 자성체를 채우는 단계를 포함하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자 제조방법
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10
제9항에 있어서,상기 나노 홀 어레이의 일 면에 금속 자성체층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자 제조방법
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제9항 또는 제10항에 있어서,상기 나노 홀에 금속 자성체를 채우는 단계는,상기 금속 자성체로 상기 나노 홀 어레이의 일 부분만 채우는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자 제조방법
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12
제11항에 있어서,상기 나노 홀 어레이의 다른 일 면에 제1전극을 형성하는 단계; 및 상기 나노 홀 어레이에 대향하는, 상기 금속 자성체층의 일 면에 제2전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자 제조방법
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제9항에 있어서,상기 템플레이트는 알루미나 템플레이트이고,나노 홀 어레이를 갖는 템플레이트를 형성하는 단계는,알루미늄 기판을 양극산화 공정에 적용하여 상기 알루미나 템플레이트를 형성하는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자 제조방법
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제10항에 있어서,상기 나노 홀 어레이를 갖는 템플레이트를 형성하는 단계는,상기 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자에 가해지는 전자기파의 주파수에 따라서, 상기 나노 홀 어레이에 포함되는 나노 홀의 기하구조 또는 나노 홀 간의 간격을 결정하는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자 제조방법
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제10항에 있어서,상기 나노 홀 어레이에 금속 자성체를 채우는 단계는,상기 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자에 가해지는 전자기파의 주파수에 따라서, 상기 나노 홀 어레이에 채워지는 금속 자석체의 종류 또는 양을 결정하는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자 제조방법
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제10항에 있어서,상기 나노 홀 어레이를 갖는 템플레이트를 형성하는 단계는, 스퍼터링 공정을 통해서 수행되거나,상기 나노 홀 어레이에 금속 자성체를 채우는 단계는, 전기도금 공정을 통해서 수행되는 것을 특징으로 하는 자성체 나노 와이어 어레이를 이용한 마이크로파 소자 제조방법
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