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플라즈마를 배출하는 노즐 어레이(nozzle array);상기 노즐 어레이를 둘러싸도록 배치되는 제 1 전극; 및상기 노즐 어레이 및 상기 제 1 전극을 둘러싸도록 배치되는 하우징을 포함하는 플라즈마 발생 장치로서,상기 노즐 어레이는 복수의 노즐들을 포함하고, 상기 복수의 노즐들은 서로 인접하여 어레이 형태로 배치되어 각각 플라즈마를 배출하도록 구성되는, 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 노즐 어레이에 포함되는 복수의 노즐들 각각은, 적어도 일부가 도체로 형성되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 2 항에 있어서,상기 복수의 노즐들은, 각각 인접한 노즐들과 상기 도체로 형성된 부분을 통해 접촉하도록 배치되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 하우징은 플라즈마 배출구를 포함하며, 상기 노즐 어레이로부터 배출된 플라즈마는 상기 플라즈마 배출구를 통해 분사되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 4 항에 있어서,상기 하우징은 상기 노즐 어레이 및 상기 제 1 전극과 일정 간격 이격되어 보호 가스 통로를 형성하는, 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 하우징은 발생한 플라즈마가 표면에 분사되고 난 후 배출되도록 하는 측면 배출구를 포함하는, 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극은, 상기 노즐 어레이의 복수의 노즐들 중 적어도 일부의 노즐들과 접촉하는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 하우징 상에 고리 형태로 형성되는 제 2 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 8 항에 있어서,상기 제 2 전극은 접지(ground)되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 8 항에 있어서,상기 제 2 전극은 플로팅(floating) 되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 8 항에 있어서,상기 제 2 전극은 고전압을 발생하고, 상기 제 1 전극은 접지되거나 플로팅 되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 하우징은 발생한 플라즈마가 표면에 분사되고 난 후 배출되도록 하는 측면 배출구를 포함하는, 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 노즐들 각각의 단면은 외형(外形) 및 내형(內形)이 모두 원형(圓形)인 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 노즐들 각각의 단면은 외형 및 내형이 모두 다각형(多角形)인 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 14 항에 있어서,상기 외형 및 내형은 모두 육각형(六角形)인 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 노즐들 각각의 단면은, 다각형의 외형 및 원형의 내형을 갖는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 16 항에 있어서,상기 외형은 육각형인 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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