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상부에 절연층이 형성된 하부 기판;상기 절연층의 위에 결합되며, 하부 기판과 일정 거리 이상 이격되어 진동하는 진동 영역을 포함하는 상부 기판; 및상기 진동 영역의 양끝을 감싸는 형태로 형성되어 상기 진동 영역을 지지하는 지지부를 포함하는 진동 소자
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제1항에 있어서, 상기 지지부는,상기 상부 기판을 형성한 물질, 및 상기 절연층을 형성한 물질에 따라 결정된 물질로 형성되는 진동 소자
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제1항에 있어서, 상기 지지부를 형성하는 물질이 상기 상부 기판을 형성한 물질과 동일한 경우, 상기 상부 기판의 위에 식각으로부터 상기 상부 기판을 보호하기 위한 보호 물질이 도포되는 진동 소자
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제1항에 있어서, 상기 지지부는,상부에 상기 상부 기판, 및 상기 하부 기판에서 발생하는 열을 방열하는 방열 핀이 형성되는 진동 소자
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5
제1항에 있어서, 상기 진동 영역 및 상기 지지부의 상부에 형성되어 상기 진동 영역으로 신호를 출력하는 추가 전극을 더 포함하는 진동 소자
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6
제1항에 있어서, 상기 하부 기판의 상부 또는 하부에 형성되어 상기 진동 영역으로 신호를 출력하는 하부 전극; 및상기 상부 기판의 상부에 형성되어 상기 진동 영역으로 신호를 출력하는 상부 전극을 더 포함하는 진동 소자
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제6항에 있어서, 상기 하부 기판은,하부 전극에서 진동 영역으로 연결되는 회로를 포함하고, 상기 상부 전극은,상기 지지부를 통하여 상기 하부 기판의 회로와 연결되는 진동 소자
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8
제6항에 있어서, 상기 진동 영역은,상기 하부 전극, 또는 상기 상부 전극이 출력한 신호에 따라 진동하는 진동 소자
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제1항에 있어서, 상기 진동 영역은,상기 진동 영역의 하부에 결합된 절연층이 식각되어 하부 기판과 일정 거리 이상 이격되는 진동 소자
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10
상부에 절연층이 형성된 하부 기판;상기 절연층의 위에 결합되며, 하부 기판과 일정 거리 이상 이격되어 진동하는 진동 영역을 포함하는 상부 기판; 상기 진동 영역의 양끝을 감싸는 형태로 형성되어 상기 진동 영역을 지지하는 지지부; 및 상기 지지부의 상부에 형성되며, 상기 상부 기판, 및 상기 하부 기판에서 발생하는 열을 방열하는 방열 핀을 포함하는 진동 소자
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제10항에 있어서, 상기 진동 영역 및 상기 지지부의 상부에 형성되어 상기 진동 영역으로 신호를 출력하는 추가 전극을 더 포함하는 진동 소자
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상부에 절연층이 형성된 하부 기판;상기 절연층의 위에 결합되며, 하부 기판과 일정 거리 이상 이격되어 진동하는 진동 영역을 포함하는 상부 기판; 상기 진동 영역의 양끝을 감싸는 형태로 형성되어 상기 진동 영역을 지지하는 지지부; 및 상기 진동 영역 및 상기 지지부의 상부에 형성되어 상기 진동 영역으로 신호를 출력하는 전극을 포함하는 진동 소자
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13
제12항에 있어서, 상기 진동 영역은,상기 전극이 출력한 교류 신호에 따라 진동하여 공진 주파수를 가지는 진동 신호를 출력하는 진동 소자
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제13항에 있어서, 상기 공진 주파수는,상기 진동 영역에서 상기 지지부가 감싸지 않은 영역의 폭, 길이 및 높이에 기초하여 결정되는 진동 소자
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15
하부 기판의 상부에 절연층을 형성하고, 절연층의 상부에 상부 기판을 결합하는 단계;진동 영역의 폭과 길이를 기초로 절연층과 상부 기판을 식각하는 단계;진동 영역의 양 끝을 감싸는 형태로 지지부를 형성하는 단계;절연층의 일부를 식각하여 하부 기판과 일정 거리 이상 이격된 진동 영역을 형성하는 단계를 포함하는 진동 소자 제조 방법
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제15항에 있어서, 상기 지지부를 형성하는 단계는,상기 상부 기판을 형성한 물질, 및 상기 절연층을 형성한 물질에 따라 결정된 물질로 지지부를 형성하는 진동 소자 제조 방법
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제15항에 있어서, 상기 지지부를 형성하는 물질이 상기 상부 기판을 형성한 물질과 동일한 경우, 상기 상부 기판의 위에 식각으로부터 상기 상부 기판을 보호하기 위한 보호 물질을 도포하는 단계를 더 포함하는 진동 소자 제조 방법
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제15항에 있어서, 상기 지지부의 상부에 상기 상부 기판, 및 상기 하부 기판에서 발생하는 열을 방열하는 방열 핀을 형성하는 단계를 더 포함하는 진동 소자 제조 방법
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제16항에 있어서, 상기 하부 기판의 상부 또는 하부에 상기 진동 영역으로 신호를 출력하는 하부 전극을 형성하고, 상기 상부 기판의 상부에 상기 진동 영역으로 신호를 출력하는 상부 전극을 형성하는 단계을 더 포함하는 진동 소자 제조 방법
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제19항에 있어서, 상기 진동 영역 및 상기 지지부의 상부에 상기 진동 영역으로 신호를 출력하는 추가 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 진동 소자 제조 방법
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