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MFC의고장진단장치

  • 기술번호 : KST2015092839
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산업용 장비 특히 반도체 제조장비에 많이 사용되고 있는 MFC(mass flow controller)의 고장진단장치에 관한 것으로서, 주 장비와 MIFC에 공통으로 연결되어 복수개의 점검신호들이 인가되는 MFC 진단장치용 콘넥터와, 이 콘넥터를 통해 전달된 신호들중 점검을 원하고자 하는 신호를 선택하는 스위치와, MFC에 주장비와 별도로 입력제어신호를 만들어 주는 입력제어신호 조절기와, 주장비로부터 공급된 전원을받아 소정의 직류전압을 공급하는 전압 안정화부와, 전압 안정화부로부터 공급된 전압으로 구동되어 아날로그신호를 디지탈신호로 변환하여 표시장치에 표시하도록 제어하는 표시장치 제어기와, 상기 스위치의 선택에 따라 해당 신호레벨을 디지탈 신호로 표시하여 주는 디지털 전압 메터와, 및 전원점검을 하기 위한 LED 표시장치로 구성되어, 유량제어부분의 고장진단에 있어서 간단하게 주장비 계통의 불량과 기능 불량을 판별한다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01F 25/0007(2013.01)
출원번호/일자 1019930029624 (1993.12.24)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0126586-0000 (1997.10.16)
공개번호/일자 10-1995-0021335 (1995.07.26) 문서열기
공고번호/일자 (19980402) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.12.24)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박희복 대한민국 대전직할시대덕구
2 김윤태 대한민국 대전직할시유성구
3 전치훈 대한민국 대전직할시유성구
4 정기룡 대한민국 대전직할시대덕구
5 임태영 대한민국 대전직할시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1993.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148351-73
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148352-18
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148353-64
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.02.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148354-10
5 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.03.21 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148355-55
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1997.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070915-55
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1997.06.11 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148357-46
8 의견서
Written Opinion		 1997.06.11 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148356-01
9 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.07.29 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148358-92
10 등록사정서
Decision to grant		 1997.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070916-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

주 장비 및 유량 제어기(MFC)의 각 콘넥터와 연결되어, 각 콘넥터로부티 출력된 전원신호, 샤시 접지, 전원접지, 출력신호, 신호접지, 유량 입력제어신호, 밸브제어단자를 통한 MFC 밸브의 작동 제어신호, 및 밸브시험단자를 통한 MFC 밸브의 개폐상태신호가 각각 인가되는 MFC 진단장치용 콘넥터와, 상기 주 장비연결용 콘넥터 또는 MFC 연결용 콘넥터의 유량 입력제어신호 상대를 확인함과 아울러 그 MFC 연결용 콘넥터로 입력되는 유량 입력제어신호를 공급하기 위해 선택적으로 절환되는 입력제어신호 선택스위치와, 상기 각 콘넥터로부터 출력된 출력신호, 입력제어신호, MFC 밸브의 작동제어신호, MFC 밸브의 개페상태를 선택적으로 점검하기 위해 절환되는 점검신호 선택 스위치와, 상기 주 장비 연결용 콘넥터로부터 전원신호를 입력받아 일정 전압을 공급하는 전압 안정화부와, 상기 전압 안정화부로부터 공급원 전압을 조절하여 상기 입력 제어신호 선택스위치의 선택에 따라 MFC 입력제어신호를 공급하는 입력제어신호 조절기와, 상기 전압 안정화부로부터 공급된 전압으로 구동되어 상기 점검신호 선택 스위치의 선택에 따른 아날로그 점검신호를 디자탈신호로 변환하여 신호 표시장치에 표시하도록 제어하는 표시장치 제어기와, 상기 표시장치 제어기의 제어에 따라 상기 점검신호 선택 스위치가 선택한 점검신호를 디지털 전압 레벨로 표시하여 주는 표시장치와, 그리고 상기 주 장비로부터 공급된 전원 입력신호의 점검 상태를 나타내는 전원점검용 LED 표시장치로 구성된 것을 특징으로 하는 MFC의 고장진단장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.