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이온빔식각장치

  • 기술번호 : KST2015092923
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조장비에 사용되는 이온빔 식각장치에 관한 것으로 특히 시편의 실시간 감지기능을 갖는 이온빔 식각장치에 대한 것이다.종래의 이온빔 식각 장치는 이온빔 발생기의 오염도나 진공장치내의 진공도 및 오염도에 의해 재현성 있는 이온빔 형성이 어렵고 원하는 식각깊이의 식각패턴을 재현성 있게 형성하는 것이 불가능 하였다.본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 이온빔 발생기와 시편고정 수단을 챔버에 착탈 가능하도록 형성하고 챔버내의 시편의 실시간 분석을 위해 질량분석기를 설치하여 이온빔의 상태를 안정적으로 유지시키며 재현성 있는 식각패턴을 형성하도록 하였다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01J 37/3053(2013.01) H01J 37/3053(2013.01) H01J 37/3053(2013.01)
출원번호/일자 1019940028974 (1994.11.05)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0137594-0000 (1998.02.10)
공개번호/일자 10-1996-0019545 (1996.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (19980601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.11.05)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 성건용 대한민국 대전직할시유성구
2 서정대 대한민국 대전직할시대덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.11.05 수리 (Accepted) 1-1-1994-0131034-52
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.11.05 수리 (Accepted) 1-1-1994-0131035-08
3 특허출원서
Patent Application		 1994.11.05 수리 (Accepted) 1-1-1994-0131033-17
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.04 수리 (Accepted) 1-1-1994-0131036-43
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.20 수리 (Accepted) 1-1-1994-0131037-99
6 등록사정서
Decision to grant		 1998.01.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0073301-92
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

진공챔버와 이 진공챔버내에 설치된 이온빔 발생기 및 시편고정기를 구비한 이온빔 식각장치에 있어서,

상기 이온빔 발생기 및 시편고정수단을 각각 상기 챔버와 개폐되도록 설치하고,

상기 챔버내 시편의 실시간 식각상태를 감지하기 위해 설치한 질량분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온빔 식각장치

2 2

제1항에 있어서,

상기 시편고정수단은

시편의 부착되며 식각시 이온빔의 입사각을 조절하기 위한 소정 경사각을 갖는 시편기울개 및 이 시편기울개를 고정하며 시편지지대에 착탈되는 구조를 갖는 시편기울개 받침판을 구비한 시편고정 부재와,

상기 시편지지대가 회전되도록 이 시편지지대의 중심에 형성된 회전축과 이 회전축에 연결되어 이 축을 일정속도로 회전시키는 모터를 구비한 시편회전 부재와,

상기 시편의 냉각을 위해 상기 회전축 일단에 냉각수 주입구를 설치하여 이 냉각수 주입구를 통해 냉각수가 시편지지판 내부로 순화되도록한 시편냉각 부재로 구성된 것을 특징으로 하는 이온빔 식각장치

3 3

제1항에 있어서,

상기 질량분석기는

상기 챔버내에 위치한 상기 시편지지판과 45°의 각도를 이루도록 설치한 것을 특징으로 하는 이온빔 식각장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.