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전기화학적 측정용 센서의 기준전극에 있어서, 절연기판 상에 형성된 전극용 금속막; 상기 금속막 상에 형성된 산화금속막; 및 상기 산화금속막 상에 형성된 고분자막을 포함하고, 상기 산화금속막은 산화이리듐막, 산화백금막, 산화루테늄막, 산화납막, 산화텅스텐막, 산화티탄막, 산화지르코늄막 중 어느 하나로 이루어지고, 상기 고분자막은 폴리우레탄, 셀룰로우즈 아세테이트, 나피온, 테플론 및 켈에프의 그룹으로부터 선택된 하나 이상이 단층 또는 복수의 층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기준전극
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제1항에 있어서, 상기 절연기판은 절연막이 형성된 실리콘기판 임을 특징으로 하는 기준전극
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제2항에 있어서, 상기 금속막 및 상기 산화금속막은 상기 절연막의 홈 내에 형성됨을 특징으로 하는 기준전극
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제2항에 있어서, 상기 절연막은 실리콘산화막 또는 실리콘질화막 임을 특징으로 하는 기준전극
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제1항에 있어서, 상기 절연기판은 유리기판, 세라믹기판, 플라스틱기판 중 어느 하나 임을 특징으로 하는 기준전극
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제1항에 있어서, 상기 금속막은 백금, 금, 탄소, 로디움 및 알루미늄 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 기준전극
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삭제
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절연기판 상에 전극용 금속막을 형성하는 단계; 상기 금속막 상에 산화금속막을 형성하는 단계; 상기 산화금속막을 세척하는 단계; 상기 산화금속막 상에 고분자막을 형성하는 단계; 상기 고분자막을 건조시키는 단계 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 기준전극의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 산화금속막을 형성하는 단계는, 금속착염이 들어있는 용액을 준비하는 단계; 및 상기 금속막을 상기 용액에 담그고 상기 금속막에 전류 혹은 전압을 일정한 전하가 흐를 때까지 인가하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기준전극의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 산화금속막은 상기 금속막을 산화시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 기준전극의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 금속막은 진공증착에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 기준전극 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 금속막은 백금, 금, 탄소, 로디움 및 알루미늄 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 기준전극의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 산화금속막은 산화이리듐막, 산화백금막, 산화루테늄막, 산화납막, 산화텅스텐막, 산화티탄막 및 산화지르코늄 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 기준전극의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 고분자막은 폴리우레탄, 셀룰로우즈 아세테이트, 나피온, 테플론 및 켈에프의 그룹으로부터 선택된 어느 하나 이상이 단층 또는 복수의 층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기준전극 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 금속착염은 이리듐착염, 백금착염, 루테늄착염, 납착염, 텅스텐착염, 티탄착염 및 지르코늄착염 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기준전극 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 절연기판은 절연막이 형성된 실리콘기판 임을 특징으로 하는 기준전극 제조방법
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제17항에 있어서, 상기 절연막은 실리콘산화막 또는 실리콘질화막 임을 특징으로 하는 기준전극
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제9항에 있어서, 상기 절연기판은 유리기판, 세라믹기판, 플라스틱기판 중 어느 하나 임을 특징으로 하는 기준전극
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