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제 1 반사경과, 상기 제 1 반사경 상부에 광축이 일치되도록 위치된 제 2 반사경과, 상기 제 1 반사경 상부에 위치되며, 양측 종단부가 스페이서를 통해 상기 제 1 반사경에 고정된 구동체와, 상기 구동체의 양측 종단부에 각각 형성된 전극들과, 상기 구동체의 중앙부와 상기 제 2 반사경을 연결하는 막대구조체와, 상기 막대구조체 양측의 상기 제 1 반사경에 스페이서를 통해 각각 고정된 고정수단들과, 상기 막대구조체와 상기 고정수단들을 연결하며 회전축 역할을 하는 탄성체들을 포함하는 것을 특징으로 하는 파장가변 필터
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제 1 반사경과, 상기 제 1 반사경 상부에 광축이 일치되도록 위치된 제 2 반사경과, 상기 제 1 반사경 상부에 위치되며, 양측 종단부가 스페이서를 통해 상기 제 1 반사경에 고정된 구동체와, 상기 구동체의 양측 종단부에 각각 형성된 전극들과, 상기 구동체의 중앙부를 지나며 일측 종단부에 제 2 반사경이 연결된 막대구조체와, 상기 제 1 반사경 상부에 위치되며, 스페이서를 통해 상기 제 1 반사경에 고정되고, 상기 막대구조체의 반대측 종단부를 고정하여 회전축 역할을 하는 고정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 파장가변 필터
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3 |
3
제 1 반사경과, 상기 제 1 반사경 상부에 광축이 일치되도록 위치된 제 2 반사경과, 상기 제 1 반사경 상부에 서로 평행하게 위치되며, 양측 종단부가 스페이서를 통해 상기 제 1 반사경에 고정된 제 1 구동체 및 제 2 구동체와,상기 제 1 구동체 및 제 2 구동체의 양측 종단부에 각각 형성된 전극들과, 상기 제 2 구동체의 중앙부를 지나며 일측 종단부에 상기 제 2 반사경이 연결되고 반대측 종단부에 상기 제 1 구동체의 중앙부가 연결된 막대구조체를 포함하는 것을 특징으로 하는 파장가변 필터
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4 |
4
제 3 항에 있어서, 상기 제 1 반사경 상부에 서로 평행하게 위치되며, 양측 종단부가 스페이서를 통해 상기 제 1 반사경에 고정된 제 3 구동체 및 제 4 구동체와, 상기 제 3 구동체 및 제 4 구동체의 양측 종단부에 각각 형성된 전극들과, 상기 제 3 구동체의 중앙부를 지나며 일측 종단부가 상기 제 2 반사경에 연결되고 반대측 종단부가 상기 제 4 구동체의 중앙부에 연결되며 상기 제 2 반사경을 사이에 두고 상기 막대구조체와 대향 배치된 또 다른 막대 구조체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파장가변 필터
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5 |
5
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 반사경과 제 2 반사경 간의 거리는 상기 스페이서의 두께에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 파장가변 필터
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6 |
6
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동체는 열팽창이 가능한 구동체, 전자기력에 의해 휘어지는 구동체, 및 물리적인 힘에 의해 휘어지는 구동체 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 파장가변 필터
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