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빛을 이용한 미세 전기기계 구조의 구동방법 및 상태검증 방법

  • 기술번호 : KST2015093212
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세 가공 기술(micro-machining technology)에 의해 만들어지는 미세 전기 기계 구조(MEMS : micro electro-mechanical system)의 구동 방법 및 상태 검증 방법에 관한 것으로, 특히 조정 회로로부터 직접 미세 전기 기계 구조에 가해지는 전압이 도선을 통하여 전달되는 종래의 방식 대신에 각 미세 전기 기계 구조마다 한 쌍의 대칭형 시드를 부착하고 이중 하나의 시드와 미세 전기 기계 구조를 전기적으로 병렬로 연결함으로써, 각 미세 전기 기계 구조에 가해지는 전압은 이 대칭형 시드의 두 광학 창문에 각각 들어오는 빛의 세기에 따라 결정 되도록한, 빛을 이용한 미세 전기 기계 구조의 구동방법 및 상태 검증 방법이 개시된다.
Int. CL G01R 31/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019960065754 (1996.12.14)
출원인 한국전자통신연구원, 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0233849-0000 (1999.09.14)
공개번호/일자 10-1998-0047278 (1998.09.15) 문서열기
공고번호/일자 (19991201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.12.14)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광준 대한민국 대전광역시 유성구
2 이종현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)
2 최승민 대한민국 서울특별시 중구 통일로 **, 에이스타워 *층 (순화동)(법무법인 세종)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 서울특별시 강남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1996.12.14 수리 (Accepted) 1-1-1996-0218875-64
2 특허출원서
Patent Application
1996.12.14 수리 (Accepted) 1-1-1996-0218874-18
3 출원심사청구서
Request for Examination
1996.12.14 수리 (Accepted) 1-1-1996-0218876-10
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1997.03.12 수리 (Accepted) 1-1-1996-0218877-55
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1998.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1996-0448101-21
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1999.01.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-5027788-18
7 의견서
Written Opinion
1999.01.26 수리 (Accepted) 1-1-1999-5027787-62
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1999.04.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0122418-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.05.07 수리 (Accepted) 4-1-1999-0068414-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.05.10 수리 (Accepted) 4-1-1999-0069115-94
11 의견서
Written Opinion
1999.06.09 수리 (Accepted) 1-1-1999-5213782-08
12 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1999.06.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-5213783-43
13 등록사정서
Decision to grant
1999.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0206091-11
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
16 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2008.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2008-5055003-22
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

전원단자 및 접지단자 간에 직렬로 접속된 서로 대칭형인 제 1 및 제 2시드와, 상기 제 1 및 제 2 시드 중 어느 하나의 시드에 병렬로 접속되는 미세 전기 기계구조에서, 제 1 시드(21) 및 제 2 시드(22)에 입사되는 빛의 세기를 조절하므로써, 각 시드(21,22)의 광학 창문에 각각 입사되는 빛의 세기에 따라 미세 전기 기계 구조(23)에 인가되는 전압이 결정되는 것을 특징으로 하는 빛을 이용한 미세 전기 기계 구조의 구동 방법

2 2

전원단자 및 접지단자 간에 직렬로 접속된 서로 대칭형인 제 1 및 제 2 시드와, 상기 제 1 및 제 2 시드 중 어느 하나의 시드에 병렬로 접속되는 미세 전기기계 구조에서, 상기 서로 대칭인 제1 시드 및 제 2 시드(22)에 입사된 빛이 상기제 1 시드(21) 및 제 2 시드(22)에서 반사 또는 투과되어 나오는 빛의 세기를 광학적으로 관측하고, 이러한 상기 제 1 시드921) 및 제 2 시드(22)의 광학적 변화에 따라 미세 전기 기계 구조(23)의 상태를 검증하는 것을 특징으로 하는 이 빛을 이용한 미세 전기 기계 구조의 상태 검증 방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US06028301 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US6028301 US 미국 DOCDBFAMILY
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