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하부전극, 발광층 및 상부전극을 포함하는 반도체 발광 소자에 있어서,상기 발광층은 실리콘 나노 결정을 포함하고,상기 발광층 상부에 서로 다른 밴드갭을 갖는 박막을 교대로 성장시킨 다층 구조의 도핑층을 포함하되,상기 서로 다른 밴드 갭을 갖는 박막은 밴드 갭이 높은 실리콘 카본 나이트라이드 박막 및 밴드 갭이 낮은 실리콘 카바이드 박막이 교대로 성장된 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자
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제 1항에 있어서,상기 하부전극과 발광층 사이에 정공주입층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자
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제 1항에 있어서,상기 도핑층 상에 전자 주입층 또는 투명 전도성 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자
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제 1항 내지 제3항중 어느 하나의 항에 있어서,상기 발광층은 실리콘 나노 결정을 포함하는 실리콘 나이트라이드(SiNx) 박막이며, 1㎚이상의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자
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제 1항 내지 제 3항중 어느 하나의 항에 있어서,상기 서로 다른 밴드 갭을 갖는 박막의 하나의 두께는 1㎚이상이고, 도핑층의 총두께는 1 ㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자
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제 2항에 있어서, 상기 정공 주입층으로는 p형의 실리콘 기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자
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제 3항에 있어서, 상기 전자 주입층은 n형의 실리콘 카바이드계 물질을 사용하며, 1㎚ 이상의 두께를 갖는 것을 특징으로 반도체 발광 소자
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제 9항에 있어서,상기 n형의 실리콘 카바이드계 물질로는 SiC 또는 SiCN인 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자
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제 3항에 있어서,상기 투명 전도성 전극은 ITO, SnO2, In2O3, Cd2SnO4 또는 ZnO을 포함하며, 1㎚ 이상의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자
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제 1항 내지 제 3항중 어느 하나의 항에 있어서,상기 도핑층은 투명층인 것을 특징으로 하는 반도체 발광 소자
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