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진공 용기의 일 단부에 구비되되, 전자를 방출하는 에미터를 포함하는 캐소드 전극;상기 캐소드 전극에 인접하도록 상기 진공 용기의 내부에 구비되는 게이트 전극;상기 진공 용기가 연장되는 방향의 타 단부 측의 상기 진공 용기의 내부에 구비되되, 상기 캐소드 전극에 대해 기울어져 있는 애노드 전극; 및상기 게이트 전극과 상기 애노드 전극 사이의 상기 진공 용기의 내주면을 따라 구비되는 집속 전극을 포함하되,상기 집속 전극은 평단면이 서로 다른 최소 폭 및 최대 폭을 갖는 개구를 갖고,상기 개구의 상기 평단면의 크기는 상기 에미터의 크기, 상기 에미터 또는 상기 게이트 전극에서 상기 집속 전극까지의 거리, 상기 집속 전극에서 상기 애노드 전극까지의 거리, 또는 상기 애노드 전극의 기울어진 정도에 의해 결정되는 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 개구의 상기 평단면의 상기 최대 폭은 상기 애노드 전극의 기울어진 방향과 일치하는 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 개구의 상기 평단면은 타원형 또는 다각형인 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 개구는 상기 집속 전극을 관통하는 형태를 갖는 엑스선원
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제 4항에 있어서,상기 개구는 상기 애노드 전극 방향으로 갈수록 좁아지거나 넓어지는 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 집속 전극은:상기 진공 용기의 상기 내주면을 따라 구비되는 원통형의 몸체부; 및상기 애노드 전극에 인접하는 상기 몸체부 상에 구비되되, 상기 개구를 갖는 개구부를 포함하는 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 에미터는 평단면이 서로 다른 최소 폭 및 최대 폭을 갖는 형태인 엑스선원
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제 7항에 있어서,상기 에미터의 상기 평단면의 상기 최대 폭은 상기 애노드 전극의 기울어진 방향과 일치하는 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 에미터의 상기 평단면은 타원형 또는 다각형인 엑스선원
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10
삭제
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제 1항에 있어서,상기 에미터는 열음극 전자원 또는 냉음극 전자원인 엑스선원
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제 1항의 구조를 갖는 엑스선원의 엑스선 초점 조절 방법에 있어서,상기 집속 전극의 상기 개구의 상기 평단면의 상기 최소 폭 또는 상기 최대 폭을 변화시키는 단계를 포함하는 엑스선 초점 조절 방법
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13
제 12항에 있어서,상기 개구의 상기 평단면의 상기 최대 폭은 상기 애노드 전극의 기울어진 방향과 일치하는 엑스선 초점 조절 방법
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제 12항에 있어서,상기 개구의 상기 평단면의 크기는 상기 에미터의 크기, 상기 에미터 또는 상기 게이트 전극에서 상기 집속 전극까지의 거리, 상기 집속 전극에서 상기 애노드 전극까지의 거리, 또는 상기 애노드 전극의 기울어진 정도에 의해 결정되는 엑스선 초점 조절 방법
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