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하판과, 상기 하판의 소정 부분에 열선 형태로 형성된 전극과, 상기 하판 상에 위치되며 상기 전극이 노출되도록 챔버영역이 형성된 구조체와, 상기 챔버영역의 상기 전극 상에 성장된 카본 나노튜브와, 상기 챔버영역을 밀폐시키기 위해 상기 기판 상에 위치되며, 가스 흡입구 및 가스 배출구가 각각 형성된 상판을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 전극과 상기 구조체 사이에 게재된 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 하판은 절연막으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 전극은 금속 또는 도프 폴리실리콘으로 형성된 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 상판은 실리콘 또는 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치
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기판의 일면에 제 1 절연막을 형성하는 단계와, 가열전극이 형성될 영역의 상기 기판이 노출되도록 상기 제 1 절연막을 패터닝하는 단계와, 상기 노출된 기판 상에 가열전극을 형성하는 단계와, 상기 가열전극을 포함하는 상기 제 1 절연막 상에 제 2 절연막을 형성하는 단계와, 상기 가열전극이 노출되도록 상기 기판의 다른 면을 식각하여 챔버영역을 형성하는 단계와, 상기 챔버영역을 통해 노출되는 상기 가열전극의 표면에 카본 나노튜브를 성장시키는 단계와, 상기 챔버영역을 포함하는 상기 기판 상에 가스 흡입구 및 가스 배기구가 각각 형성된 상판을 접합시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 가열전극은 열선 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 가열전극은 금속 또는 도프 폴리실리콘으로 형성하는 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 제 2 절연막을 형성한 후 상기 제 2 절연막 상에 구조체의 안정성을 높이기 위해 소정의 박막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 기판의 두께를 조절하기 위해 연마하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 카본 나노튜브는 상기 가열전극의 표면에 선택적으로 촉매를 도포하는 단계와, 상기 촉매에 의해 선택적으로 카본 나노튜브가 성장되도록 성장 공정을 진행하는 단계를 통해 성장되는 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 촉매는 Ni, Fe, 또는 Co 인 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 성장 공정은 화학기상증착 또는 레이저 절제 공정인 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 카본 나노튜브는 상기 챔버영역의 상기 기판 두께와 같은 높이로 성장시키는 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 상판은 실리콘 또는 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 상판은 실리콘 또는 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 흡착 및 탈착 장치의 제작 방법
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