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광 경로를 변경시키기 위한 광 통신용 광 스위치에 있어서, 상기 광 경로 변경을 위하여 일 측에 거울면을 구비하며 이 거울면에 평행한 방향으로 전·후진 구동이 가능한 가동 구조체(mobile structure); 상기 가동 구조체의 전·후진 구동 방향과 수직 방향으로 가동 구조체의 양쪽에 연결되어, 래치-업 기능을 갖을 수 있도록 만곡된 형상(shallow arch)으로 적어도 한 쌍 이상 설치된 얇은 판 스프링(leaf spring); 및 상기 가동 구조체를 움직이기 위한 액츄에이터(actuator)로 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 광 스위치
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제1항에 있어서, 상기 만곡된 판 스프링의 구동 전압을 낮추기 위하여, 상기 판 스프링의 연결부위인 양쪽 끝에 판 스프링과 수직으로 연결되는 탄성체를 중간에 삽입하여 축 방향에 대한 운동 자유도를 높이는 것을 특징으로 하는 광 스위치
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제2항에 있어서, 상기 탄성체는, 상기 판 스프링에 수직으로 연결되는 'I'형 빔, 굴곡을 가진 다층 스프링, 및 각도 변형이 가능한 'S'형상의 빔 중의 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 광 스위치
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제1항에 있어서, 상기 거울면을 포함하는 가동 구조체를 구동하기 위한 액츄에이터는, 한쌍의 빗살형(comb type) 가동전극과 이와 대향되는 한쌍의 빗살형 고정전극, 또는 서로 대향되는 평행판을 포함하여 가동 구조체를 정전력(electrostatic force)으로 왕복 운동시키는 것을 특징으로 하는 광 스위치
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제4항에 있어서, 상기 가동 구조체의 구동 방법으로, 열 팽창, 전자기력(electromagnetic force), 및 압전력 중의 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 광 스위치
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제1항에 있어서, 상기 가동 구조체가, 재료 및 구동의 안정성과 집적 회로화에 우수한 결정 실리콘 및 다결정 실리콘 중의 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 광 스위치
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제6항에 있어서, 상기 가동 구조체의 하부에, 실리콘 산화막으로 이루어진 희생층(sacrificial layer)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 스위치
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제1항에 있어서, 상기 거울면은, 광 신호의 확산(divergence)을 감소시킬 수 있도록 오목 렌즈(concave lens) 형상의 1차원 또는 2차원의 거울면을 구비한 것을 특징으로 하는 광 스위치
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제8항에 있어서, 상기 거울면의 표면에 광의 반사 효율을 높이기 위하여, 알루미늄, 금, 및 니켈 중의 어느 하나의 금속을 증착시키는 것을 특징으로 하는 광 스위치
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제1항에 있어서, 상기 거울면을 구비한 가동 구조체는, 반응성 이온 식각을 이용하여 거울면과 가동 구조체를 동시 제작한 후, 추가적인 습식 식각공정을 이용하여 거울의 결정면 가공을 수행하는 것을 특징으로 하는 광 스위치
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