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초고진공내에서의시료의이동및열처리를위한네발집게와시료대

  • 기술번호 : KST2015094173
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초고진공내에서 반도체 및 도체의 시료를 이동하고 특정한 목적으로 열처리하는 집게 및 시료대에 관한 것으로, 기존의 조작기(Manipulator)가 가지고 있는 시료의 조작의 불편이나, 두발집게가 가지고 있는 시료대의 불안정성과 전자빔 가속에 의한 열처리의 난점 등을 극복한 네발집게와 시료대로서 본 발명 네발집게를 이용하면 외부에서 어떠한 크기나 형태를 가진 물건도 초고진공내에서의 조작과 이동이 가능하고, 반도체나 도체의 세척과정에서 필수적으로 수반되는 열처리의 과정이 훨씬 용이하게 된다
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01)
출원번호/일자 1019940029925 (1994.11.15)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0138857-0000 (1998.02.23)
공개번호/일자 10-1996-0019644 (1996.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (19980601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.11.15)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박강호 대한민국 대전직할시유성구
2 하정숙 대한민국 대전직할시유성구
3 박성주 대한민국 대전직할시유성구
4 이일항 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1994.11.15 수리 (Accepted) 1-1-1994-0135202-19
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.11.15 수리 (Accepted) 1-1-1994-0135203-65
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.11.15 수리 (Accepted) 1-1-1994-0135204-11
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.04 수리 (Accepted) 1-1-1994-0135205-56
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.20 수리 (Accepted) 1-1-1994-0135206-02
6 등록사정서
Decision to grant		 1998.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0075502-19
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

진공챔버의 외부에서 작동되는 직선운동 작동기와 회전운동작동기의 직선 및 회전운동을 집게의 운동으로 바꾸어 주는 집게작동부재를 구비하고 외부로부터의 전원을 집게의 네발에 연결하여 가속된 전자빔을 이용하여 열처리가 가능하게 하는 네발형 집게와;

다양한 형태의 시료를 부착하여 상기 네발형 집게에 의하여 가속된 전자빔으로 1000℃이상 가열이 가능한 시료대로 구성됨을 특징으로 하는 초고진공내에서의 시료의 이동 및 열처리를 위한 네발집게와 시료대

2 2

제1항에 있어서,

네발형 집게의 집게작동부는 집게 본체(100)의 일측 양단에 2개의 집게다리(110)가 회전축(101)(102)에 의하여 결합되어 있고, 상기 양측의 집게다리(110)는 중단부가 2개의 링크(130)에 의하여 연결되며, 상기 2개의 링크(130)는 중간부에 중앙회전축(131)으로 연결되며, 상기 중앙회전축(131)은 상기 직선운동축(140)에 결합되어 구성됨을 특징으로 하는 초고진공내에서의 시료의 이동 및 열처리를 위한 네발집게와 시료대

3 3

제2항에 있어서,

집게다리(110)의 양측에는 각각 2개씩의 발(120)이 결합되어 있고, 상기 4개의 발(120)중 앞측 2개의 발(120)에는 휠라멘트의 양단자를 연결하고, 뒤측 발(120)중 하나에는 시료전원이 연결되며, 상기 집게다리(110)와 발(120)의 사이에는 세라믹(160)에 의하여 절연될 수 있도록 구성됨을 특징으로 하는 초고진공내에서의 시료의 이동 및 열처리르 위한 네발집게와 시료대

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.