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파장선택형 도막 두께 측정 장치

  • 기술번호 : KST2015094256
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 도막의 두께를 측정함에 있어, 기존의 접촉 방식이 아닌 광음향효과와 간섭계를 이용한 비접촉식 방법을 이용하고, 도막의 색에 따라 레이저의 파장을 선택하여 도막의 두께를 측정하는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 도막 두께 측정 장치는, 상기 도막에 펄스 레이저광을 조사하는 펄스 레이저 광원; 상기 도막에 CW 레이저광을 조사하는 CW 레이저 광원; 상기 CW 레이저광에 대응하는 광간섭 신호를 검침하는 검침부; 및 상기 광간섭 신호를 신호처리 하여 상기 도막의 두께를 연산하는 신호 처리부를 포함한다.
Int. CL G01B 11/06 (2006.01.01) G01N 29/14 (2006.01.01) G01N 21/45 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020130152913 (2013.12.10)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0067486 (2015.06.18) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.29)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김정은 대한민국 광주 광산구
2 강현서 대한민국 광주광역시 광산구
3 박형준 대한민국 광주 광산구
4 허영순 대한민국 광주광역시 광산구
5 김거식 대한민국 광주광역시 북구
6 전은경 대한민국 광주광역시 서구
7 임권섭 대한민국 광주 북구
8 김영선 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2013-1128322-29
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-1193418-00
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0453615-77
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.08.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0797917-82
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2019-0797918-27
7 등록결정서
Decision to grant
2019.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0789465-50
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번호 청구항
1 1
도막 두께 측정 장치에 있어서,상기 도막에 펄스 레이저광을 조사하는 펄스 레이저 광원;상기 도막에 CW 레이저광을 조사하는 CW 레이저 광원;상기 CW 레이저광에 대응하는 광간섭 신호를 검침하는 검침부; 및상기 광간섭 신호를 신호처리 하여 상기 도막의 두께를 연산하는 신호 처리 부를 포함하고,상기 펄스 레이저 광원의 파장은 상기 도막의 색상에 대한 상기 펄스 레이저 광원의 파장의 흡수율에 기초하여 선택 가능하고,상기 CW 레이저 광원의 파장은 상기 도막의 상기 색상에 대한 상기 CW 레이저 광원의 반사율에 기초하여 선택 가능한,도막 두께 측정 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 광간섭 신호는,상기 펄스 레이저광에 의해 변위된 도막 표면의 영향으로 변화하는 광간섭 신호인,도막 두께 측정 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 검침부는 상기 도막의 표면 근처에서 상기 광간섭 신호를 검침하는 도막 두께 측정 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 연산된 도막 두께를 디스플레이하는 출력부를 더 포함하는 도막 두께 측정 장치
5 5
제1항에 있어서,사용자로부터 입력된 상기 도막의 색 정보에 대응하도록 상기 펄스 레이저 광원 및 상기 CW 레이저 광원의 파장을 선택적으로 스위칭하도록 제어하는 레이저 컨트롤러를 더 포함하는 도막 두께 측정 장치
6 6
제5항에 있어서,상기 레이저 컨트롤러는,상기 도막의 색 정보의 흡수도에 따라 상기 펄스 레이저 광원의 상기 파장을 제어하고, 상기 도막의 색 정보의 반사도에 따라 상기 CW 레이저 광원의 상기 파장을 제어하는 도막 두께 측정 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 펄스 레이저 광원 및 상기 CW 레이저 광원은 상기 도막에 둘 이상의 파장으로 상기 펄스 레이저광 및 상기 CW 레이저광을 조사하는 둘 이상의 레이저들로 구성된 레이저 어레이를 더 포함하는 도막 두께 측정 장치
8 8
제1항에 있어서,상기 도막 두께 측정 장치는 비접촉식인, 도막 두께 측정 장치
9 9
제1항에 있어서,상기 펄스 레이저 광원 및 상기 CW 레이저 광원은 하나의 센서 헤드부로 구현되고, 상기 센서 헤드부는 교체 가능한, 도막 두께 측정 장치
10 10
제1항에 있어서,상기 펄스 레이저 광원은 다른 펄스 레이저와 서로 상이한 파장을 갖는 복수의 펄스 레이저들을 포함하고,상기 CW 레이저 광원은 다른 CW 레이저와 서로 상이한 파장을 갖는 복수의 CW 레이저들을 포함하고,상기 복수의 펄스 레이저들의 각각의 파장 및 상기 복수의 CW 레이저들의 각각의 파장은 복수의 주요 색상들 중 적어도 하나에 대응하는 적어도 하나의 입력에 기초하여 독립적으로 선택 가능한,도막 두께 측정 장치
지정국 정보가 없습니다
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2 US9534889 US 미국 DOCDBFAMILY
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