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도파관; 상기 도파관에 결합되며, 홈이 형성된 종단부; 및상기 홈에 결합되며, 상기 도파관의 중심 영역으로 입력된 입력신호를 감쇠시키는 박막 저항부;를 포함하는 소형 도파관 종단기
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제 1 항에 있어서,상기 종단부는,상기 도파관의 일측 종단면에 배치되며,상기 홈은,상기 도파관의 중앙부에 형성된 소형 도파관 종단기
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제 1 항에 있어서,상기 박막 저항부는,기판; 및상기 기판 상에 형성된 박막 저항;을 포함하는 소형 도파관 종단기
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제 3 항에 있어서,상기 기판은,알루미나 및 SiO2 중 적어도 하나를 포함하는 소형 도파관 종단기
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제 3 항에 있어서,상기 기판은,폼(foam) 또는 하니컴(honycomb) 형태인 소형 도파관 종단기
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제 3 항에 있어서,상기 박막 저항은,TaN, SiCr 및 NiCr 중 적어도 하나를 포함하는 소형 도파관 종단기
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제 3 항에 있어서,상기 박막 저항은,상기 입력 신호에 대한 임피던스 정합을 위하여 계단 패턴 또는 테이퍼 패턴 으로 상기 기판에 형성된 소형 도파관 종단기
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제 1 항에 있어서,상기 홈에 상기 박막 저항부를 결합하는 접착부재를 포함하는 소형 도파관 종단기
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