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입출력 전송선로에 하나 이상의 트랜지스터가 전기적으로 연결되어 이루어진 단위셀을 포함하며,상기 입출력 전송선로의 상하부에 대칭적으로 다수의 접지 비아홀이 형성되되, 상기 각 트랜지스터의 소오스 전극 또는 드레인 전극이 상기 각 접지 비아홀에 연결되어 접지되며, 상기 각 트랜지스터의 게이트 전극에 인가된 게이트 전압에 따라 상기 입출력 전송선로로 입력된 밀리미터파 신호가 상기 각 접지 비아홀로 전달되어 상기 각 접지 비아홀에 의해 상기 밀리미터파 신호의 누설이 다단계적으로 차단되는 것을 특징으로 하는 밀리미터파 대역 제어회로용 고격리도 스위치 소자
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제 1항에 있어서, 상기 접지 비아홀의 수가 증가할수록 상기 트랜지스터의 온-상태 임피던스가 감소되어 온-상태의 삽입 손실이 감소되고 오프-상태의 격리도가 증가되는 것을 특징으로 하는 밀리미터파 대역 제어회로용 고격리도 스위치 소자
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제 1항에 있어서, 상기 트랜지스터는 화합물 반도체 트랜지스터 또는 전계효과 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 밀리미터파 대역 제어회로용 고격리도 스위치 소자
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제 1항에 있어서, 상기 단위셀에 제 1 내지 제 4 접지 비아홀이 형성된 경우,상기 밀리미터파 신호가 상기 제 1, 3 접지 비아홀로 전달되어 1차적으로 누설이 차단되고,상기 제 1, 3 접지 비아홀에서 누설된 밀리미터파 신호가 상기 제 3, 4 접지 비아홀로 전달되어 2차적으로 누설이 차단되며,상기 제 3, 4 접지 비아홀에서 누설된 밀리미터파 신호가 상기 제 2, 4 접지 비아홀로 전달되어 3차적으로 누설이 차단되는 것을 특징으로 하는 밀리미터파 대역 제어회로용 고격리도 스위치 소자
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제 1항에 있어서, 상기 단위셀은,상기 트랜지스터의 게이트 전극을 연결하기 위한 게이트 연결 금속과,상기 트랜지스터의 드레인 전극을 상기 입출력 전송선로에 연결하기 위한 드레인 전극용 에어브릿지 금속과,상기 트랜지스터의 소오스 전극을 상기 입출력 전송선로에 연결하기 위한 소오스 전극용 에어브릿지 금속과,상기 트랜지스터의 게이트 전극의 앞단에 배치된 메사 저항을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밀리미터파 대역 제어회로용 고격리도 스위치 소자
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