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잡음에 강건한 일반화 대칭 변환을 이용한 표면 검사 방법

  • 기술번호 : KST2015095004
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 잡음에 강건한 일반화 대칭 변환을 이용한 표면 검사 방법에 관한 것으로서, 잡음에 강건한 일반화 대칭 변환을 이용하여 잡음이 많고 복잡한 배경의 피검사체 표면에 존재하는 얼룩과 이물질 등을 검출하고 분할하기 위한 표면 검사 방법과 상기 방법을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하기 위하여, 피검사체의 표면 영상을 입력받아 입력된 영상의 대칭쌍에 대한 두 화소의 명도변화 방향의 수렴과 발산 및 대칭성을 동시에 파악할 수 있는 NTGST을 적용하여 대칭도 맵을 획득하는 제1단계, 상기 획득한 대칭도 맵에서 대칭도의 첨두 위치를 검출하는 제2단계 및 상기 검출된 첨두 위치로부터 얼룩이나 이물질의 위치를 검출하는 제3단계를 포함하며, 표면 검사 장치 등에 이용됨.표면 검사, 잡음에 강건한 일반화 대칭 변환, 피검사체, 위상 가중 함수, 대칭도 맵, 물질 검출, 물질 분할
Int. CL G01N 21/00 (2006.01)
CPC G01N 21/8851(2013.01) G01N 21/8851(2013.01) G01N 21/8851(2013.01)
출원번호/일자 1020000069701 (2000.11.22)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0392366-0000 (2003.07.10)
공개번호/일자 10-2002-0039879 (2002.05.30) 문서열기
공고번호/일자 (20030722) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.11.22)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박창준 대한민국 대전광역시유성구
2 오원근 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2000-0247024-58
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.04.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.05.23 수리 (Accepted) 9-1-2002-0005920-66
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0263396-18
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2002.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2002-5235947-56
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2002.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2002-5260154-43
9 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2002.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2002-5281750-82
10 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.12.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0429049-82
11 의견서
Written Opinion		 2002.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2002-0429052-19
12 등록결정서
Decision to grant		 2003.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0235307-09
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

표면 검사 장치에 적용되는 표면 검사 방법에 있어서,

피검사체의 표면 영상을 입력받아 입력된 영상의 대칭쌍에 대한 두 화소의 명도변화 방향의 수렴과 발산 및 대칭성을 동시에 파악할 수 있는 잡음에 강건한 일반화 대칭 변환(NTGST)을 적용하여 대칭도 맵을 획득하는 제1단계;

상기 획득한 대칭도 맵에서 대칭도의 첨두 위치를 검출하는 제2단계; 및

상기 검출된 첨두 위치로부터 얼룩이나 이물질의 위치를 검출하는 제3단계

를 포함하는 표면 검사 방법

2 2

표면 검사 장치에 적용되는 표면 검사 방법에 있어서,

피검사체의 표면 영상을 입력받아 입력된 영상의 대칭쌍에 대한 두 화소의 명도변화 방향의 수렴과 발산 및 대칭성을 동시에 파악할 수 있는 잡음에 강건한 일반화 대칭 변환(NTGST)을 적용하여 대칭도 맵을 획득하는 제1단계;

상기 획득한 대칭도 맵에서 대칭도의 첨두 위치를 검출하는 제2단계; 및

상기 첨두 위치의 대칭도에 많은 기여를 한 화소들을 검색하여 얼룩이나 이물질의 외곽선을 구성하는 화소를 구하여 배경으로부터 분할하는 제3단계

를 포함하는 표면 검사 방법

3 3

제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 제1단계는,

입력된 영상의 대칭쌍에 대한 두 화소의 명도변화 크기의 곱항과 두 화소의 명도변화 방향의 수렴과 발산 및 대칭성을 동시에 파악할 수 있는 위상 가중 함수 항을 곱하여 대칭 기여도를 얻고, 상기 대칭 기여도를 일정 영역에 대해서 누적하여 대칭도를 구하는 제4단계; 및

상기 누적된 대칭도를 2차원 영상 좌표에 사상(mapping)시켜 상기 대칭도 맵을 획득하는 제5단계

를 포함하는 표면 검사 방법

4 4

대용량 프로세서를 구비한 표면 검사 장치에,

피검사체의 표면 영상을 입력받아 입력된 영상의 대칭쌍에 대한 두 화소의 명도변화 방향의 수렴과 발산 및 대칭성을 동시에 파악할 수 있는 잡음에 강건한 일반화 대칭 변환(NTGST)을 적용하여 대칭도 맵을 획득하는 제1기능;

상기 획득한 대칭도 맵에서 대칭도의 첨두 위치를 검출하는 제2기능; 및

상기 검출된 첨두 위치로부터 얼룩이나 이물질의 위치를 검출하는 제3기능

을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체

5 5

대용량 프로세서를 구비한 표면 검사 장치에,

피검사체의 표면 영상을 입력받아 입력된 영상의 대칭쌍에 대한 두 화소의 명도변화 방향의 수렴과 발산 및 대칭성을 동시에 파악할 수 있는 잡음에 강건한 일반화 대칭 변환(NTGST)을 적용하여 대칭도 맵을 획득하는 제1기능;

상기 획득한 대칭도 맵에서 대칭도의 첨두 위치를 검출하는 제2기능; 및

상기 첨두 위치의 대칭도에 많은 기여를 한 화소들을 검색하여 얼룩이나 이물질의 외곽선을 구성하는 화소를 구하여 배경으로부터 분할하는 제3기능

을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.