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기판 상에 제1 전극, 하부절연층, 형광층, 상부절연층 및 제2 전극의 적층 구조로 이루어진 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법에 있어서, 상기 상부절연층과 상기 하부절연층 중 적어도 어느 하나의 층으로서 반응성 표면 화학반응 증착법을 사용하여 Ta2O5 박막을 증착하는 제1 단계와, 상기 Ta2O5 박막에 대해 400∼600℃ 온도에서 10∼300초 동안 급속열처리를 수행하는 제2 단계 를 포함하는 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법
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기판 상에 제1 전극, 하부절연층, 형광층, 상부절연층 및 제2 전극의 적층 구조로 이루어진 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법에 있어서, 상기 상부절연층과 상기 하부절연층 중 적어도 어느 하나의 층으로서 반응성 표면 화학반응 증착법을 사용하여 Ta2O5 박막을 증착하는 제1 단계와, 상기 Ta2O5 박막에 대해 400∼600℃ 온도에서 30∼600분 동안 화로(furnace) 열처리를 수행하는 제2 단계 를 포함하는 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 상부절연층까지 적층이 이루어진 전체 구조물에 대해 500∼800℃의 온도에서 10∼300초 동안 급속열처리를 실시하는 제3 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 상부절연층까지 적층이 이루어진 전체 구조물에 대해 500∼800℃의 온도에서 10∼300초 동안 급속열처리를 실시하는 제3 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 제1 전극이 투명전극이고 상기 제2 전극이 금속전극인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 제1 전극이 금속전극이고 상기 제2 전극이 투명전극인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 형광층은, SrS, MgS, CaS, ZnS 중 어느 하나의 II-VI족 화합물황화물을 모재료로 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 Ta2O5 박막은 50∼400 nm 두께로 증착하는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 반응성 표면 화학반응 증착법은, Ta(OEt)5, Ta(Oi-Pr)5, Ta[N(Et)2]5, Ta[N(Me)2]5, Ta[N(Me)(Et)]5 중 적어도 어느 하나의 전구체를 사용한 원자층증착법인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법
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제2항 또는 제3항의 교류 구동형 전계 발광소자 제조방법에 따라 제조된 교류 구동형 전계 발광소자
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