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마이크로 광스위치 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015095172
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 광스위치에 관한 것으로, 내부에 구멍을 갖는 외부틀, 외부틀의 구멍 안에 위치하며, 내부에 구멍을 갖는 내부틀, 내부틀의 구멍 안에 위치하는 광 반사수단, 외부틀의 양측면에 위치하는 외부 자성체들, 외부틀과 내부틀을 연결하며 외부 자성체들에 의한 자장과 45°의 각도를 이루는 외부 비틀림 힌지, 내부틀과 광 반사수단을 연결하며 외부 비틀림 힌지와 직각을 이루는 내부 비틀림 힌지, 내부틀에 배선된 외부 코일 및 광 반사수단에 배선된 내부 코일을 포함하고, 내부 코일 및 외부 코일에 전류가 인가되면 광 반사수단 및 내부틀이 내부 비틀림 힌지 및 외부 비틀림 힌지를 축으로 하여 회전하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 광 반사수단이 2축으로 회전할 수 있는 효과가 있다.MEMS, 비틀림 힌지, 마이크로 미러
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020020062750 (2002.10.15)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0451409-0000 (2004.09.22)
공개번호/일자 10-2004-0033598 (2004.04.28) 문서열기
공고번호/일자 (20041006) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.10.15)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류호준 대한민국 서울특별시노원구
2 하두영 대한민국 서울특별시강동구
3 전치훈 대한민국 대전광역시유성구
4 김윤태 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2002-0337986-57
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.05.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2004-0033534-15
4 등록결정서
Decision to grant		 2004.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0385288-82
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

내부에 구멍을 갖는 외부틀;

상기 외부틀의 구멍 안에 위치하며, 내부에 구멍을 갖는 내부틀;

상기 내부틀의 구멍 안에 위치하는 광 반사수단;

상기 외부틀의 양측면에 위치하는 외부 자성체들;

상기 외부틀과 상기 내부틀을 연결하며 상기 외부 자성체들에 의한 자장과 45°의 각도를 이루는 외부 비틀림 힌지;

상기 내부틀과 상기 광 반사수단을 연결하며 상기 외부 비틀림 힌지와 직각을 이루는 내부 비틀림 힌지;

상기 내부틀에 배선된 외부 코일; 및

상기 광 반사수단에 배선된 내부 코일을 포함하고,

상기 내부 코일 및 외부 코일에 전류가 인가되면 상기 광 반사수단 및 상기 내부틀이 상기 내부 비틀림 힌지 및 상기 외부 비틀림 힌지를 축으로 하여 회전하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광스위치

2 2

제1 항에 있어서,

상기 광 반사수단은 정사각형 모양이고, 상기 내부틀 및 외부틀은 정사각형의 고리 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로 광스위치

3 3

제1 항에 있어서,

상기 외부 코일은 상기 외부 비틀림 힌지를 지나 상기 외부틀에 형성된 외부 전극패드에 연결되고, 상기 내부 코일은 상기 내부 비틀림 힌지 및 외부 비틀림 힌지를 지나 상기 외부틀에 형성된 내부 전극패드에 연결되는 것을 특징으로 하는 마이크로 광스위치

4 4

제1 항에 의한 마이크로 광스위치의 제조방법에 있어서,

(a) 상층, 중층 및 하층으로 이루어진 SOI 웨이퍼의 하부면에 식각 중지막을 증착하는 단계;

(b) 상기 식각 중지막 중 상기 외부틀을 정의하는 부분을 제외한 영역을 식각하여 제거하는 단계;

(c) 상기 상층 상부에 절연막을 증착하고, 상기 내부틀, 광 반사수단, 내부 비틀림 힌지 및 외부 비틀림 힌지를 정의하는 마스크를 이용하여 상기 절연막 및 상기 상층을 식각하는 단계;

(d) 상기 절연막의 상부에 상기 내부 코일 및 외부 코일을 형성하는 단계;

(e) 전체구조 상부에 보호막을 증착하고, 상기 식각 중지막을 마스크로 하여 상기 하층을 식각하는 단계; 및

(f) 상기 보호막을 제거하고, 상기 중층을 식각하여 상기 내부틀, 광 반사수단, 내부 비틀림 힌지 및 외부 비틀림 힌지를 하부 공간으로부터 부유시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광스위치의 제조방법

5 5

제4 항에 있어서, 상기 (f) 단계 후에

상기 SOI 웨이퍼의 좌우 양측에 외부 자성체들을 부착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광스위치의 제조방법

6 6

제4 항에 있어서, 상기 식각 중지막은

질화실리콘막 또는 실리콘산화물막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 광스위치의 제조방법

7 7

제4 항에 있어서, 상기 절연막은

실리콘 산화막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 광스위치의 제조방법

8 8

제4 항에 있어서, 상기 보호막은

폴리머막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 광스위치의 제조방법

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1 US2004070806 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US6791731 US 미국 DOCDBFAMILY
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