고온기체방전에 의해 플라즈마로부터 연 X선을 발생시키는 장치에 있어서, 방전실(19)내로 상부의 테두리가 원형으로 중앙에 골이 파인 일측이 위치하되 단부에 길이를 조절하는 기능을 갖는 조절나사(13)와 죔나사(14)가 체결되는 중앙전극(1)과 ; 상기 중앙전극(1)에 체결된 조절나사(13)의 상측에 결합되는 원통형의 절연체(3)와 ; 상기절연제(3)의 외주면에 결합되어 상기 방전실(19)의 바닥을 이루는 금속원판(22)과 ; 상기 금속원판(22)에 고정하는 둘레에 복수의 구멍(21)이 형성된 원통형의 외측전극(2)과 ; 상기 외측전극(2)의 바깥쪽에 위치하여 내부관측이 가능토록 투명한 관측원통(56)과 상기 관측원통(56)의 상부일측에 구비된 방출구(6b)에 Be방출창(6a)의 오염을 제거하기 위한 노광용 방출부(6)와 ; 상기 관측원통(56)에 씌워져 방전실(19)이 구비되도록 한 타원형의 금속용기(56a)와 ; 상기 금속용기(56a)의 둘레와 상부에서 상기 방전실(19)내부의 관찰이 가능토록 형성된 관측부(53)(54)(55)와 ; 상기 금속원판(22)을 통해 상기 방전실(19)내로 전리기체를 공급하기 위한 기체공급부(8)(81)를 상기 금속원판(22)과 상기 절연체(3)사이의 외측에 구성한 것을 특징으로 하는 초미세형상용 연 X선 발생장치

제 1 항에 있어서, 상기 금속원판(22)중앙으로 갈수록 구멍이 커지며 원대칭으로 형성된 가스유출입공(23)을 갖는 것을 특징으로 하는 초미세형상용 연 X선 발생장치

제 1 항에 있어서, 상기 방출부(6)는 상기 방출구(6b)의 내측으로 반사경(6e)과, 상기 방출구(6b)를 중심으로 좌우에 형성한 진공실(6c)(6d)과, 상기 진공실(6c)과 진공실(6d)을 이동하는 투과창 지지대(63)와, 상기 투과창 지지대(63)의 상부에 위치하는 원통형 전극(66)을 갖는 것을 특징으로 하는 초미세형상용 연 X선 발생장치의 구성방법

제 3 항에 있어서, 상기 진공실(6c)(6d)은 한쌍의 원판전극(61)과 상기 원판전극(61)사이에 회전식빗살(80)이 구성된 것을 특징으로 하는 초미세형상용 연 X선 발생장치의 구성방법