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노광장비를 이용하여 리소그래피 공정을 수행함에 있어서, 주마스크와 보조적으로 사용하되, 노광장비의 광학적상 전사특성 및 감광제의 특성상 웨이퍼 위의 감광제에 상이 해상되지 않도록 미세한 반복패턴으로 구성되는 미해상 회절층(20,20a)을 갖는 미해상 회절 마스크
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제1항에 있어서, 상기 미해상 회절층(20,20a)은 단층 혹은 다층으로 구성하되, 주마스크(10)와 일체 혹은 분리되는 것을 특징으로 하는 미해상 회절 마스크
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제1항에 있어서, 미해상 회절층은 석영기판 상에 차광막패턴(21), 투영막패턴(22) 및 석영기판을 식각한 패턴(23)중 하나로 된 것을 특징으로 하는 미해상 회절 마스크
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제1항에 있어서, 미해상 회절층은 석영기판 상에 차광막패턴(21), 투영막패턴(22) 및 석영기판을 식각한 패턴(23)을 적어도 2개의 조합으로 된 것을 특징으로 하는 미해상 회절 마스크
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제3항에 있어서, 상기 차광막 패턴(21)은 크롬으로 된 것을 특징으로 하는 미해상 회절 마스크
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제1항에 있어서, 미해상 회절층(20,20a)을 형성하는 패턴은 주기성이 있는 일차원 또는 이차원의 격자(Grating)형 패턴 및 유사한 반복 패턴으로 구성한 것을 특징으로 하는 미해상 회절 마스크
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제6항에 있어서, 상기 미해상 회절층(20,20a)을 형성하는 격자패턴은 1주기가 주마스크(10)의 차광막(11)의 반복패턴 주기의 정수배인 것을 특징으로 하는 미해상 회절 마스크
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제6항에 있어서, 상기 미해상 회절층(20,20a)과 주마스크(10) 사이의 거리는 미해상 회절층(20,20a)을 구성하는 반복패턴(21,22,23)의 주기보다 상대적으로 큰 것을 특징으로 하는 미해상 회절 마스크
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제1항에 있어서, 미해상 회절층(20,20a)은 주마스크(10)의 차광막(11)패턴에 따라 서로 다른 주기의 반복 패턴군이 구역별로 서로 다른 방향성을 갖는 패턴으로 형성된 것을 특징으로 하는 미해상 회절 마스크
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