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레이저 펄스를 제공하는 레이저;상기 레이저 펄스의 펄스 폭을 감소시키는 펄스 압축기; 상기 압축기와 상기 레이저 사이에 배치되고, 상기 레이저 펄스를 분산하는 펄스 스트레쳐; 및상기 펄스 스트레쳐와 상기 펄스 압축기 사이에 배치되고, 상기 레이저 펄스를 투과하여 상기 레이저 펄스의 자발 포커싱 및 필라멘트 현상으로부터 상기 레이저 펄스의 스펙트럼을 확장하는 필라멘트 부를 포함하되,상기 필라멘트 부는 퀄츠의 에너지 밴드 갭보다 낮은 3
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제 1 항에 있어서,상기 펄스 스트레쳐와 상기 필라멘트 부 사이에 배치되고, 상기 레이저 펄스를 상기 필라멘트 부에 포커싱하는 제 1 렌즈; 및상기 필라멘트 부와 상기 펄스 압축기 사이에 배치되고, 상기 레이저 펄스를 상기 펄스 압축기에 평행하게 제공하는 제 2 렌즈를 더 포함하는 레이저 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 펄스 스트레쳐 및 상기 펄스 압축기는 처프 펄스 스트레쳐 및 처프 펄스 압축기를 각각 포함하는 레이저 시스템
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제 5 항에 있어서, 상기 처프 펄스 스트레쳐는:상기 레이저 펄스를 반사하는 제 1 처프 미러; 및상기 제 1 처프 미러에 평행하게 배치되고, 상기 제 1 처프 미러에서 반사된 상기 레이저 펄스를 상기 필라멘트 부에 반사하여 상기 레이저 펄스를 분산하는 제 2 처프 미러를 포함하는 레이저 시스템
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제 5 항에 있어서, 상기 처프 펄스 압축기는: 상기 레이저 펄스를 반사하는 제 3 처프 미러; 및상기 제 3 처프 미러에 평행하게 배치되고, 상기 제 3 처프 미러에서 반사된 상기 레이저 펄스를 반사하여 상기 레이저 펄스의 상기 펄스 폭을 감소시키는 제 4 처퍼 미러를 포함하는 레이저 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 펄스 스트레쳐 및 상기 펄스 압축기는 프리즘 스트레쳐와 프리즘 압축기를 각각 포함하는 레이저 시스템
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제 8 항에 있어서, 상기 프리즘 스트레쳐는:상기 레이저 펄스를 투과하는 제 1 하프 미러;상기 제 1 하프 미러를 통과한 상기 레이저 펄스를 굴절시키는 제 1 프리즘;상기 제 1 프리즘에 대해 엇갈리게 마주 보는 방향으로 배치되고, 상기 제 1 프리즘에서 굴절된 상기 레이저 펄스를 굴절시켜 상기 레이저 펄스를 분산하는 제 2 프리즘; 및상기 제 2 프리즘으로부터 제공되는 상기 레이저 펄스를 상기 제 2 프리즘에 다시 반사하는 제 1 미러를 포함하는 레이저 시스템
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제 8 항에 있어서, 상기 프리즘 압축기는:상기 레이저 펄스를 투과하는 제 2 하프 미러;상기 제 2 하프 미러를 통과한 상기 레이저 펄스를 굴절시키는 제 3 프리즘;상기 제 3 프리즘에 엇갈리게 마주 보는 방향으로 배치되고, 상기 제 3 프리즘에서 굴절된 상기 레이저 펄스를 굴절시켜 상기 레이저 펄스의 펄스 폭을 감소시키는 제 4 프리즘; 및상기 제 4 프리즘에서 굴절된 상기 레이저 펄스를 상기 제 4 프리즘에 다시 반사하는 제 2 미러를 포함하는 레이저 시스템
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제 8 항에 있어서, 상기 프리즘 스트레쳐와 상기 필라멘트 부 사이의 제 3 미러;상기 프리즘 압축기에서 제공되는 레이저 펄스에 노출되는 타깃; 및 상기 프리즘 압축기와 상기 타깃 사이의 제 4 미러를 더 포함하는 레이저 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 펄스 스트레쳐 및 상기 펄스 압축기는 그레이팅 스트레쳐와 그레이팅 압축기를 각각 포함하는 레이저 시스템
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제 12 항에 있어서, 상기 그레이팅 스트레쳐는:상기 레이저 펄스를 투과하는 제 3 하프 미러;상기 제 3 하프 미러를 통과한 상기 레이저 펄스를 반사하는 제 1 그레이팅;상기 제 1 그레이팅과 평행하게 배치되고, 상기 제 1 그레이팅에서 반사된 상기 레이저 펄스를 반사하여 상기 레이저 펄스를 분산하는 제 2 그레이팅; 및상기 제 2 그레이팅에서 반사된 상기 레이저 펄스를 상기 제 2 그레이팅에 다시 반사하는 제 5 미러를 포함하는 레이저 시스템
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제 12 항에 있어서, 상기 그레이팅 압축기는:상기 레이저 펄스를 투과하는 제 4 하프 미러;상기 제 4 하프 미러를 통과한 상기 레이저 펄스를 반사하는 제 3 그레이팅;상기 제 3 그레이팅과 평행하게 배치되고, 상기 제 3 그레이팅에서 반사된 상기 레이저 펄스를 반사하여 상기 레이저 펄스의 펄스 폭을 감소시키는 제 4 그레이팅; 및상기 제 4 그레이팅에서 반사된 상기 레이저 펄스를 상기 제 4 그레이팅에 다시 반사하는 제 6 미러를 포함하는 레이저 시스템
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제 12 항에 있어서, 상기 그레이팅 스트레쳐와 상기 필라멘트 부 사이의 제 7 미러; 상기 그레이팅 압축기에서 제공된 레이저 펄스에 노출되는 타깃; 및상기 그레이팅 압축기와 타깃 사이의 상제 8 미러를 더 포함하는 레이저 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 펄스 스트레쳐 및 상기 펄스 압축기는 그리즘 스트레쳐와 그리즘 압축기를 각각 포함하는 레이저 시스템
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제 16 항에 있어서, 상기 그리즘 스트레쳐는:상기 레이저 펄스를 투과하는 제 5 하프 미러;상기 제 5 하프 미러를 통과한 상기 레이저 펄스를 굴절시키는 제 1 그리즘;상기 제 1 그리즘에 엇갈리게 마주 보는 방향으로 배치되고, 상기 제 1 그리즘에서 굴절된 상기 레이저 펄스를 굴절시켜 상기 레이저 펄스를 분산하는 제 2 그리즘; 및상기 제 2 그리즘에 굴절된 상기 레이저 펄스를 상기 제 2 그리즘에 반사하는 제 9 미러를 포함하는 레이저 시스템
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제 16 항에 있어서, 상기 그리즘 압축기는:상기 레이저 펄스를 투과하는 제 6 하프 미러;상기 제 6 하프 미러를 통과한 상기 레이저 펄스를 굴절시키는 제 3 그리즘;상기 제 3 그리즘에 엇갈리게 마주보는 방향으로 배치되고, 상기 제 3 그리즘에 굴절된 상기 레이저 펄스를 굴절시켜 상기 레이저 펄스의 펄스 폭을 감소시키는 제 4 그리즘; 및상기 제 4 그리즘에 굴절된 상기 레이저 펄스를 상기 제4 그리즘에 반사하는 제 10 미러를 포함하는 레이저 시스템
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제 16 항에 있어서, 상기 그리즘 스트레쳐와 상기 필라멘트 부 사이의 제 11 미러; 상기 그리즘 압축기에서 제공되는 상기 레이저 펄스에 노출되는 타깃; 및상기 그리즘 압축기와 상기 타깃 사이의 제 12 미러를 더 포함하는 레이저 시스템
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레이저 펄스를 제공하는 레이저;상기 레이저 펄스가 음의 2차 분산 값을 갖도록 상기 레이저 펄스를 분산하는 펄스 스트레쳐; 및상기 음의 2차 분산 값을 양의 2차 분산 값으로 상쇄하도록 상기 레이저 펄스를 투과하여 상기 레이저 펄스의 자발 포커싱 및 필라멘트 현상으로부터 상기 레이저 펄스의 스펙트럼을 확장하는 필라멘트 부를 포함하되,상기 필라멘트 부는 퀄츠의 에너지 밴드 갭보다 낮은 3
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제 20 항에 있어서,상기 레이저 펄스의 펄스 폭을 감소시키고, 상기 레이저 펄스의 첨두 출력을 증가시키는 펄스 압축기를 더 포함하는 레이저 시스템
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