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이온빔집속용정전렌즈

  • 기술번호 : KST2015096091
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세패턴을 가지는 반도체 소자의 제조 공정에 이용할 수 있도록 이온 빔을 집속하는 정전 렌즈계에 있어서 주요변수인, 정전 렌즈를 구성하는 전극의 간격, 전극의 두께 및 전극의 직경을 변화시켜 정전 렌즈의 집속 특성을 개선할 수 있는 가변형 이온 빔 집속형 정전 렌즈에 관한 것이다.종래의 정전 렌즈 보다 정전 렌즈를 구성하는 각 전극의 간격,두께 및 직경의 변화에 의해 이온빔의 집속 특성을 제어하여 전체 전극을 다시 제작하지 않고 집속 특성을 개선해야 하며, 전극의 기계적인 요소를 변화시키므로서 입사되는 이온 빔의 에너지의 증가에 따라 집속 전압의 과도한 증가를 억제하여 방전의 위험성을 감소시켜야 한다.정전 렌즈는 3개의 전극으로 구성된 등전위 렌즈에서 제1전극(100)의 삽입전극(110), 제2전극(200)의 삽입 전극(210), 제3전극(300)의 삽입 전극(310)에 의해 기계적인 요소들인 이온 빔이 통과하는 구멍의 직경, 전극의 두께, 전극간 위치를 변화시켜 전체 전극을 다시 제작하지 않고 제어하여 넓은 범위의 배율에 대하여 이온 빔의 집속 특성을 개선시키도록 하였으며, 판 형태의 전극(7)을 적어도 2장을 겹쳐서 하나의 삽입 전극을 형성하고, 전극(7)에 형성되어 있는 공구 홈에 이용하여 피치 이동에 의해 제1전극(100), 제2전극(200), 제3전극(300)에 장착시켜 삽입 전극으로 동일하게 구성하여 이온 빔의 집속 특성을 개선시키고, 제1전극의 삽입 전극(110), 제2전극(200)의 삽입 전극(210), 제3전극(300)의 삽입 전극(310)중 2개의 삽입 전극을 이용하여 구성된 정전 렌즈로 이온 빔의 집속 특성을 개선시킨다.
Int. CL H01J 37/12 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/12(2013.01) H01J 37/12(2013.01)
출원번호/일자 1019880017978 (1988.12.30)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 케이티
등록번호/일자 10-0047072-0000 (1991.12.19)
공개번호/일자 10-1990-0010899 (1990.07.11) 문서열기
공고번호/일자 1019910007807 (19911002) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1988.12.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 대한민국 충남대전시서구
2 장원익 대한민국 대전시유성구
3 김보우 대한민국 대전시중구
4 유형준 대한민국 충남대전시중구
5 배남진 대한민국 충남대전시서궁가

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전시유성구
2 한국전기통신공사 대한민국 서울특별시종로구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1988.12.30 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104518-18
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1988.12.30 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104519-64
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1988.12.30 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104520-11
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1990.01.24 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104521-56
5 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification		 1990.02.02 수리 (Accepted) 1-1-1990-9001957-13
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1991.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1988-0057927-80
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1991.06.14 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104523-47
8 의견서
Written Opinion		 1991.06.14 수리 (Accepted) 1-1-1988-0104522-02
9 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1991.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1988-0057928-25
10 등록사정서
Decision to grant		 1991.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1988-0057930-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0010652-29
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2000-0005008-66
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2002-0032774-13
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.03.13 수리 (Accepted) 4-1-2009-5047686-24
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2010-5068437-23
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2012-5005621-98
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5058926-38
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5122434-12
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5106568-91
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018159-78
24 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

3개의 전극으로 구성된 등전위 정전렌즈에서, 제1전극(100)의 삽입전극(110), 제2전극(200)의 삽입전극(210), 제3전극(300)의 삽입전극(310)에 의해 기계적인 요소들인 이온빔이 통과하는 구멍의 직경, 전극의 두께, 전극간 위치를 변화시켜 전체전극을 다시 제작하지 않고 제어하여 넓은 범위의 배율에 대하여 이온빔의 집속특성을 개선시키도록 한 것을 특징으로 하는 이온빔의 집속용 정전렌즈

2 2

제1항에 있어서, 판 형태의 전극(7)을 적어도 2장을 겹쳐서 하나의 삽입전극을 형성하고, 전극(7)에 형성되어 있는 공구 홈에 이용하여 피치이동에 의해 제1전극 (100), 제2전극(200), 제3전극(300)에 장착시켜 삽입전극으로 동일하게 구성하여 이온빔의 집속특성을 개선시키도록 함을 특징으로 하는 이온빔 집속용 정전렌즈
3 3

제1항에 있어서, 제1전극(100)의 삽입전극(110), 제2전극(200)의 삽입전극 (210), 제3전극(300)의 삽입전극(310)중 2개의 삽입전극을 이용하여 이온빔의 집속특성을 개선시키도록 함을 특징으로 하는 이온빔 집속용 정전렌즈

4 4

제1항에 있어서, 제1전극(100)의 삽입전극(110), 제2전극(200)의 삽입전극을 추가 설치하여 3개 이상의 전극으로 구성된 정전렌즈로 이온빔의 집속특성을 개선시키도록 한 것을 특징으로 하는 이온빔 집속용 정전렌즈

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.