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전자빔과의 충돌로써 엑스선이 발생되는 전극: 및상기 전극이 배치되며, 상기 전극으로부터 발생된 엑스선이 투과하는 윈도우를 포함하고,상기 전극은 상기 전극을 관통하는 채널을 포함하고,상기 전자빔은 상기 채널의 내부로 제공되어 상기 엑스선을 생성하고,상기 엑스선은 상기 채널을 통해서만 상기 윈도우 바깥으로 방출되는 엑스선 튜브
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제1항에 있어서,상기 전극은 상기 전자빔이 입사되는 방향의 하면과 상기 윈도우가 배치되는 상면을 포함하고,상기 채널은 상기 하면에서부터 상기 상면까지 연장되어 상기 전극을 완전히 관통하는 엑스선 튜브
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제2항에 있어서,상기 채널은 상기 하면에서의 입구와 상기 상면에서의 출구를 포함하고, 상기 입구에서부터 상기 출구로 갈수록 폭이 작아지는 엑스선 튜브
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제3항에 있어서,상기 채널은 상기 입구에서부터 상기 출구를 향해 연장된 경사진 내측벽을 갖는 원뿔대 형태의 하부 채널 그리고 상기 하부 채널로부터 연장되고 수직한 내측벽을 갖는 원기둥 형태의 상부 채널을 포함하는 하이브리드 구조를 가지며,상기 전자빔은 상기 하부 채널의 경사진 내측벽과 충돌하여 상기 엑스선을 생성하는 엑스선 튜브
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제2항에 있어서,상기 채널은 상기 하면에서의 입구와 상기 상면에서의 출구를 포함하고, 상기 입구에서부터 상기 출구로 갈수록 폭의 변화가 없는 엑스선 튜브
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제5항에 있어서,상기 채널은 상기 입구에서부터 상기 출구를 향해 연장된 수직 측벽을 갖는 원기둥 형태의 단일 구조를 가지며,상기 전자빔은 상기 수직 측벽과 충돌하여 상기 엑스선을 생성하는 엑스선 튜브
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제6항에 있어서,상기 채널은 상기 수직 측벽을 갖는 복수개의 홀들을 포함하는 엑스선 튜브
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외부를 향하는 상면과 진공 상태의 내부를 향하는 하면을 갖는 엑스선 윈도우; 및상기 엑스선 윈도우의 하면 상에 제공되고 상기 내부 공간으로부터 진행되어 오는 전자빔과의 충돌로써 엑스선을 발생시키는 엑스선 타겟을 포함하고,상기 엑스선 타겟은 상기 전자빔의 상기 엑스선 윈도우로의 진행 경로를 제공하는 채널을 포함하고,상기 엑스선은 상기 채널을 통해서만 상기 엑스선 윈도우 바깥으로 방출되는 엑스선 튜브
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제8항에 있어서,상기 채널은 상기 엑스선 타겟을 관통하는 적어도 하나의 홀을 포함하고,상기 적어도 하나의 홀은 상기 내부 공간을 향해 개방된 입구와 상기 엑스선 윈도우를 향해 개방된 출구를 갖는 엑스선 튜브
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제9항에 있어서,상기 적어도 하나의 홀은 상기 입구에 비해 상기 출구의 크기가 작은 관통홀을 포함하는 엑스선 튜브
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제10항에 있어서,상기 관통홀은 상기 입구로부터 상기 출구로 이어진 직선 형태의 경사진 내측벽과 수직한 내측벽을 포함하고,상기 전자빔은 상기 경사진 내측벽과 충돌하여 상기 관통홀로부터 벗어나 방출되는 국부적으로 포커싱된 엑스선을 생성하는 엑스선 튜브
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제11항에 있어서,상기 적어도 하나의 홀은 상기 입구의 크기와 상기 출구의 크기가 동일한 복수개의 관통홀들을 포함하는 엑스선 튜브
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제12항에 있어서,상기 관통홀들은 각각 상기 입구로부터 상기 출구로 이어진 직선 형태의 수직한 내측벽을 포함하고,상기 전자빔은 상기 수직한 내측벽과 충돌하여 상기 복수개의 관통홀들로부터 벗어나 방출되는 평행한 엑스선을 생성하는 엑스선 튜브
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제8항에 있어서,상기 엑스선 타겟은 다결정 혹은 단결정의 금속을 포함하는 엑스선 튜브
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대기 상태의 외부를 향하는 상면과 진공 상태의 내부 공간을 향하는 하면을 갖는 엑스선 윈도우와;상기 엑스선 윈도우의 하면 상에 제공되고 상기 내부 공간으로부터 진행되어 오는 전자빔과의 충돌로써 엑스선을 발생시키는 금속 타겟과; 그리고상기 금속 타겟을 관통하여 상기 전자빔의 상기 외부로의 진행 경로를 따라 연장된, 그리고 상기 전자빔과 충돌되는 내측벽을 갖는 적어도 하나의 채널을 포함하고,상기 엑스선은 상기 적어도 하나의 채널을 통해서만 상기 엑스선 윈도우 바깥으로 방출되는 엑스선 튜브
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제15항에 있어서,상기 금속 타겟은 상기 엑스선 윈도우의 하면과 접하는 상면과 그 반대면인 하면을 포함하고,상기 적어도 하나의 채널은 상기 금속 타겟의 하면을 향해 개방되어 상기 내부 공간과 이어진 입구와 상기 금속 타겟의 상면을 향해 개방되어 상기 엑스선 윈도우의 상면 일부를 노출시키는 출구를 포함하는 엑스선 튜브
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제16항에 있어서,상기 적어도 하나의 채널은 직경이 상기 입구에서부터 상기 출구로 갈수록 작아지는 원뿔대 혹은 쐐기 형상의 하부 채널 그리고 상기 하부 채널로부터 연장되고 직경의 변화가 없는 원기둥 형태의 상부 채널이 조합된 하이브리드 구조의 홀을 포함하는 엑스선 튜브
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제16항에 있어서,상기 적어도 하나의 채널은 상기 입구의 직경과 상기 출구의 직경이 동일한 원기둥 형상의 복수개의 홀들을 포함하는 엑스선 튜브
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제15항에 있어서,상기 금속 타겟은 텅스텐(W) 혹은 몰리브덴(Mo)을 포함하는 엑스선 튜브
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제15항에 있어서,상기 엑스선 윈도우는 베릴륨(Be)을 포함하는 엑스선 튜브
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