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기판 상에 배치된 슬랩 도파층;상기 슬랩 도파층 내에 서로 이격 배치된 입력 게이트 및 출력 게이트; 및상기 슬랩 도파층 내에 배치된 에첼 격자 필터를 포함하되,상기 에첼 격자 필터는 곡률을 가지며 제1 방향으로 연장되고, 그 일면에 톱니 모양의 격자들을 포함하고,상기 입력 게이트를 통해 입사된 광은 상기 에첼 격자 필터에서 1회의 반사 과정으로 전반사되는 광 필터
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제 1 항에 있어서,상기 입력 및 출력 게이트들은 상기 에첼 격자 필터를 향하도록 배치된 광 필터
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제 1 항에 있어서,상기 광은 상기 에첼 격자 필터를 거쳐 파장대별로 서로 다른 상기 출력 도파 게이트들에 각각 도달하는 광 필터
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제 1 항에 있어서,상기 광은 상기 에첼 격자 필터에서 26도 이상 90도 이하의 입사각을 갖는 광 필터
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제 1 항에 있어서,상기 광은 인접한 상기 톱니 모양의 격자들에 의해 보강간섭이 유발되는 광 필터
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제 1 항에 있어서,상기 톱니 모양의 격자들의 간격은 3mm 이상 100mm 이하인 광 필터
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제 1 항에 있어서,상기 슬랩 도파층의 두께는 200 nm 이상 5 mm 이하인 광 필터
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제 1항에 있어서,상기 슬랩 도파층을 덮는 클래딩 층을 더 포함하되,상기 클래딩 층은 실리콘 산화막(SiO2), 실리콘 질화막 (SiN), 또는 공기 (air)를 포함하는 광 필터
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입력 도파로를 포함하는 입력 도파로부;출력 도파로를 포함하는 출력 도파로부; 및상기 입력 및 출력 도파로부들 사이에 개재된 필터부를 포함하되,상기 필터부는:슬랩 도파로 내에 배치된 에첼 격자 필터, 상기 슬랩 도파로 내에 배치되고 상기 입력 도파로와 접하는 입력 도파 게이트, 및 상기 슬랩 도파로 내에 배치되고 상기 출력 도파로와 접하는 출력 도파 게이트를 포함하고,상기 에첼 격자 필터는 제1 방향으로 곡률을 가지며 연장되고, 그 일면에 톱니 모양의 격자들을 포함하고,상기 톱니 모양의 격자들이 이루는 각은 90도보다 크고 180도보다 작은 광도파로 소자
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제 9 항에 있어서,상기 출력 도파로 및 상기 출력 도파 게이트는 복수개로 제공된 광도파로 소자
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제 9 항에 있어서,상기 입력 및 출력 도파 게이트들은 상기 에첼 격자 필터 방향을 향하도록 배치된 광도파로 소자
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제 9 항에 있어서,상기 입력 도파로 및 상기 출력 도파로는 상기 제1 방향으로 연장된 광도파로 소자
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제 9 항에 있어서,상기 입력 도파 게이트는 상기 에첼 격자 필터의 중심을 향하도록 배치된 광도파로 소자
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제 9 항에 있어서,상기 입력 및 출력 도파로들, 상기 입력 및 출력 도파 게이트들, 및 상기 슬랩 도파로는 동일한 물질을 포함하는 광도파로 소자
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제 9 항에 있어서,상기 입력 및 출력 도파로들, 상기 입력 및 출력 도파 게이트들, 및 상기 슬랩 도파로는 실리콘인 광도파로 소자
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제 9 항에 있어서,상기 입력 도파로부, 상기 출력 도파로부, 및 상기 필터부를 덮는 클래딩 층을 더 포함하는 광도파로 소자
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제 16 항에 있어서,상기 클래딩 층 및 상기 에첼 격자 필터는 동일한 물질을 포함하는 광도 파로 소자
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제 16 항에 있어서,상기 클래딩 층 및 상기 에첼 격자 필터는 실리콘 산화막인 광도파로 소자
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