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웨이퍼의마운팅방법

  • 기술번호 : KST2015096291
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 [구성]웨이퍼(1)의 일면에 패터닝하는 공정이 완료된 후 마운팅용 유리기판(4)을 형성하고, 이 유리기판(4)위에 접착수단을 균일하게도포한 다음 상기 웨이퍼(1)의 타면과 관련된 일련의 공정을 위하여 상기 웨치퍼(1)의 상기 일면을 상기 유리기판(4)위에 접착시킴으로써 상기 웨이퍼(1)를 마운팅 하는 방법에 있어서, 상기웨이퍼(1)의 상기 일면에 패턴을 보호하기 위한 보호막(2)을 형성한 후 상기 웨이퍼(1)를 상기 유리기판(4)위에 접착시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 마운팅 방법.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/68714(2013.01) H01L 21/68714(2013.01)
출원번호/일자 1019930005879 (1993.04.08)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0116165-0000 (1997.06.09)
공개번호/일자 10-1994-0024952 (1994.11.19) 문서열기
공고번호/일자 1019970003908 (19970322) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.04.08)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문재경 대한민국 대전직할시유성구
2 맹성재 대한민국 대전직할시동구
3 이종람 대한민국 대전직할시서구
4 윤광준 대한민국 대전직할시대덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.04.08 수리 (Accepted) 1-1-1993-0032228-23
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.04.08 수리 (Accepted) 1-1-1993-0032230-15
3 특허출원서
Patent Application		 1993.04.08 수리 (Accepted) 1-1-1993-0032227-88
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.04.08 수리 (Accepted) 1-1-1993-0032229-79
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.04.08 수리 (Accepted) 1-1-1993-0032231-61
6 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.02.19 수리 (Accepted) 1-1-1993-0032232-17
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1996.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0011471-68
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1996.10.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0032234-08
9 의견서
Written Opinion		 1996.10.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0032233-52
10 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1997.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0011472-14
11 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.03.07 수리 (Accepted) 1-1-1993-0032235-43
12 등록사정서
Decision to grant		 1997.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0011473-59
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

전면공정이 완료된 웨이퍼(1)와 평판 유리기판(4)을 준비하는 제1공정과, 상기 웨이퍼(1)의 훼손 및 균열을 방지하기 위한 보호막(2)을 형성하는 제2공정과, 상기 웨이퍼(1)를 상기 평판 유리기판(4)과 접착시키기 위해 그 유리기판(4) 위에 왁스(3)을 균일하게 도포하는 제3공정과, 상기 보호막(2)이 형성된 웨이퍼(1)의 전면과 왁스(3)가 도포된 상기 평판 유리기판(4)을 접착시키는 제4공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 마운팅 방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 보호막(2)은 감광막을 도포한 후 베이킹하여 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 마운팅 방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 평판 유리기판(4) 대신이 기판 표면에 소정 깊이로 식각하여 형성된 골 형태의 공기 배출통로를 갖는 골이진 유리기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 마운팅 방법

4 4

제3항에 있어서, 상기 공기배출통로는 격자 모양, 동심원 모양, 방사모양중 어느 하나의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 마운팅 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.