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가우스 함수 중첩형 공간 강도 분포 조명에 의한 초해상 결상 방법

  • 기술번호 : KST2015096310
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야리소그래피용 광학2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제동에 공간적으로 균일한 강도를 갖는 빛으로 조명하여 이른바 레일리 한계에 의해 제한되는 선폭의 광학상을 얻으므로, 이때 최소 선폭은 균일한 조명의 경우 조명파장과 광학계의 개구수에 의해서 제한된다. 3. 발명의 해결 방법의 요지노광장비 광학계의 동(瞳)에 여러개의 가우스 함수가 중첩된 형태의 진폭 및 위상 투과특성을 갖도록 조명광을 조작함으로써 통상적인 광학계에서 얻을 수 있는 선폭보다 미세한 선폭의 상을 얻는다. 4. 발명의 중요한 용도반도체 공정
Int. CL G02B 27/58 (2006.01)
CPC G02B 27/58(2013.01) G02B 27/58(2013.01)
출원번호/일자 1019960069282 (1996.12.20)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1998-0050459 (1998.09.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.12.20)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이각현 대한민국 대전광역시 유성구
2 정해빈 대한민국 대전광역시 유성구
3 이상수 대한민국 서울특별시 동대문구
4 이민희 대한민국 인천광역시 부평구
5 송영란 대한민국 경기도 의정부시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1996.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1996-0229595-32
2 특허출원서
Patent Application
1996.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1996-0229594-97
3 출원심사청구서
Request for Examination
1996.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1996-0229596-88
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1997.04.04 수리 (Accepted) 1-1-1996-0229597-23
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1999.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0073131-63
6 의견서
Written Opinion
1999.04.27 수리 (Accepted) 1-1-1999-5165282-10
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1999.04.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-5165283-66
8 거절사정서
Decision to Refuse a Patent
1999.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0214256-80
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

제1 반치폭을 가진 가우스 함수 형태의 공간 강도 분포를 갖는 노광원을 가진 노광기를 사용하여 반도체 소자를 만드는 리소그래피 공정에 있어서,

상기 제1 반치폭보다 좁은 제2 반치폭을 가진 빛의 위상을 반전시켜 상기 노광원으로부터의 빛과 중첩시킴으로써 상기 노광원으로부터의 빛의 진폭을 감소시키는 단계를 포함하여 이루어진 가우스 함수 중첩형 공간 강도 분포 조명에 의한 초해상 결상 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.