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X-선 마스크 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015096349
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 X-선 마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로, 얼라인먼트 윈도우(alignment window)부분의 멤브레인 위에 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 형성하고, 얼라인먼트 윈도우 부분에서 얼라인먼트 마크 부분을 제외한 멤브레인 부분을 제거하여 관통공(through hole)들이 형성되게 함으로써, X-선 리소그래피(lithography) 공정동안에 얼라인먼트 마크에서 발생되는 얼라인먼트 신호(alignment signal)의 콘트라스트(contrast)를 최대로 할 수 있도록 한 기술이다.
Int. CL G03F 1/70 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) G03F 1/22 (2006.01)
CPC G03F 1/42(2013.01) G03F 1/42(2013.01)
출원번호/일자 1019960072531 (1996.12.26)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0218677-0000 (1999.06.10)
공개번호/일자 10-1998-0053427 (1998.09.25) 문서열기
공고번호/일자 (19990901) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.12.26)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최상수 대한민국 대전광역시 유성구
2 전영진 대한민국 대전광역시 유성구
3 김보우 대한민국 대전광역시 유성구
4 유형준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)
2 최승민 대한민국 서울특별시 중구 통일로 **, 에이스타워 *층 (순화동)(법무법인 세종)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1996.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1996-0239163-12
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1996.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1996-0239164-57
3 특허출원서
Patent Application		 1996.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1996-0239162-66
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.03.12 수리 (Accepted) 1-1-1996-0239165-03
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1996-0459375-71
6 의견서
Written Opinion		 1999.02.10 수리 (Accepted) 1-1-1999-5056287-14
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1999.02.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-5056288-60
8 등록사정서
Decision to grant		 1999.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0094336-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
11 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2008-5055003-22
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

얼라인먼트 윈도우와 메인 칩 윈도우를 갖는 X-선 마스크에 있어서, X-선 마스크와 웨이퍼를 정렬하기 위한 상기 얼라인먼트 윈도우 부분에 형성된 멤브레인 상에 다수의 얼라인먼트 마크가 형성되고, 상기 얼라인먼트 마크가 형성된 영역 이외의 얼라인먼트 마크 부분의 멤브레인을 제거하여 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 X-선 마스크

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 얼라인먼트 윈도우는 상기 메인 칩 윈도우 주변에 적어도 3개 이상 형성된 것을 특징으로 하는 X-선 마스크

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 얼라인먼트 마크는 상기 얼라인먼트 윈도우 부분을 가로지르면서 상기 얼라인먼트 마크의 양단이 상기 얼라인먼트 윈도우 부분 이외의 부분에까지 연장되도록 형성된 것을 특징으로 하는 X-선 마스크

4 4

마스크 기판이 제공되는 단계와, 상기 마스크 기판의 앞면에 제 1 X-선 투과체를 형성하고, 상기 마스크 기판의 뒷면에 제 2 X-선 투과체를 형성하는 단계와, 상기 제 1 X-선 투과체 상부에 X-선 흡수체를 형성한 후 상기 X-선 흡수체의 선택된 부분을 제거하므로써, 메인 칩 윈도우 부분에 칩 패턴이 형성되고, 얼라인먼트 윈도우 부분에 얼라인먼트 마크가 형성되는 단계와, 상기 칩 패턴 및 얼라인먼트 마크가 형성된 마스크 기판의 양면에 포토레지스트를 도포하고, 양면 노광 및 현상 공정으로 마스크 앞면의 얼라인먼트 윈도우 부분의 상기 제 1 X-선 투과체가 노출되는 동시에 상기 마스크 기판 뒷면의 메인 칩 윈도우 및 얼라인먼트 윈도우 부분의 제 2 X-선 투과체가 노출되도록 상기 포토레지스트를 패터닝하는 단계와, 상기 패터닝된 포토레지스트를 마스크로 이용한 식각 공정으로 제 1 및 제 2 X-선 투과체의 노출된 부분을 제거하는 단계와, 상기 패터닝된 포토레지스트를 다시 마스크로 이용한 식각 공정으로 상기 마스크 기판의 뒷면으로부터 제 1 X-선 투과체가 노출되는 시점까지 상기 마스크 기판을 식각하고, 이로 인하여 상기 메인 칩 윈도우 부분에는 멤브레인으로 사용되는 상기 제 1 X-선 투과체가 모두 존재하고, 상기 얼라인먼트 윈도우 부분의 얼라인먼트 마크 이외의 부분에 관통공이 형성되는 단계와, 상기 패터닝된 포토레지스트를 제거하고, 상기 제 2 X-선 투과체의 외곽부분을 따라 파이렉스 링을 접착하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 X-선 마스크 제조 방법

5 5

제 7 항에 있어서, 상기 얼라인먼트 윈도우는 상기 메인 칩 윈도우 주변에 적어도 3개 이상 형성하는 것을 특징으로 하는 X-선 마스크 제조 방법

6 6

제 7 항에 있어서, 상기 얼라인먼트 마크는 상기 얼라인먼트 윈도우 부분을 가로지르면서 상기 얼라인먼트 마크의 양단이 상기 얼라인먼트 윈도우 부분 이외의 부분에까지 연장되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 X-선 마스크 제조 방법

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1 JP03297996 JP 일본 FAMILY
2 JP10247622 JP 일본 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP10247622 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP3297996 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 JPH10247622 JP 일본 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.