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X-선 마스크 제작을 위한 실리콘 습식식각용 웨이퍼척

  • 기술번호 : KST2015096398
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 X-선 마스크 제작을 위한 실리콘 습식식각용 웨이퍼 척에 관한 것이다.좀 더 구체적으로, 본 발명은 X-선 마스크 제작공정중 실리콘의 습식식각시 웨이퍼의 외주연 부분이 식각액과 접촉하는 것을 방지하거나 웨이퍼의 일면에 실장된 소자가 식각액과 접촉하는 것을 방지할 수 있는 실리콘 습식식각용 웨이퍼 척에 관한 것이다.본 발명의 실리콘 습식식각용 웨이퍼 척은 X-선 마스크 제작을 위한 실리콘 습식식각용 웨이퍼 척에 있어서, 단면에 L자 형상으로 절곡된 환 형상을 지니고 절곡된 평탄면의 중앙에는 O-링(11)이 부설되어 웨이퍼(50) 일면의 외주연 부분을 안착시키는 위한 하부 지지부(10); 및, 환 형상을 지니고 하면 중앙에 O-링(21)이 부설되며 상기한 하부 지지부(10)의 절곡면에 내설되어 웨이퍼(50) 타면의 외주연 부분을 고정하기 위한 상부 지지부(20)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01)
CPC H01L 21/68714(2013.01) H01L 21/68714(2013.01) H01L 21/68714(2013.01)
출원번호/일자 1019950052662 (1995.12.20)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0160907-0000 (1998.08.20)
공개번호/일자 10-1997-0052733 (1997.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (19990201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.12.20)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최상수 대한민국 대전광역시 유성구
2 전영진 대한민국 대전광역시 유성구
3 정해빈 대한민국 대전광역시 유성구
4 이종현 대한민국 대전광역시 유성구
5 유형준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1995.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1995-0203767-56
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1995-0203769-47
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1995-0203768-02
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.29 수리 (Accepted) 1-1-1995-0203770-94
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.25 수리 (Accepted) 1-1-1995-0203771-39
6 등록사정서
Decision to grant		 1998.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0107503-84
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

X-선 마스크 제작을 위한 실리콘 습식식각용 웨이퍼 척에 있어서, 단면에 L자 형상으로 절곡된 환형상을 지니고 절곡된 평탄면의 중앙에는 O-링(11)이 부설되어 웨이퍼(50) 일면의 외주연 부분을 안착시키기 위한 하부 지지부(10); 및, 환 형상을 지니고 하면 중앙에 O-링(21)이 부설되며 상기한 하부 지지부(10)의 절곡면에 내설되어 웨이퍼(50) 타면의 외주연 부분을 고정하기 위한 상부 지지부(20)를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 습식식각용 웨이퍼 척

2 2

제1항에 있어서, 상기한 상부 지지부(20)의 개구부에는 개구부를 봉쇄하는 덮개(22)가 상부 지지부(20)의 일면에 추가로 부설된 것을 특징으로 하는 실리콘 습식식각용 웨이퍼 척

3 3

제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 상부 지지부(20) 및 하부 지지부(10)는 테프론으로 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 습식식각용 웨이퍼 척

4 4

제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 하부 지지부(10)와 상부 지지부(20)는 나합되도록, 하부 지지부(10)의 절곡 측면 및 상부 지지부(10)의 외측면에는 나사산이 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 습식식각용 웨이퍼 척

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.