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하부 실리콘 기판(21)상에 절연 산화막(22)과 상부 실리콘(23)을 차례로 증착하고, 상기 상부 실리콘(23) 및 절연 산화막(22)을 선택적으로 식각하여 상기 하부 실리콘 기판(21)을 노출시키는 트랜치(27)를 형성하는 것에 의해 가동 구조체(24) 및 실리콘 전극(25)패턴을 가지는 멤즈 소자 구조체를 정의하는 공정과, 상기 실리콘 전극(25)의 측면 트랜치(27) 및 실리콘 전극(25)과 상부 실리콘(23)표면상에 소정의 폭을 가지는 절연막(32) 및 완충막(33)을 형성하는 공정과, 상기 절연막(32)과 완충막(33)을 소정의 폭으로 제거하여 실리콘 전극(25)을 노출시키는 개구를 형성하고, 상기 완충막(33)상에 금속 배선(34)을 형성하는 공정과, 상기 가동 구조체(24)의 형성영역과 금속 배선(34)의 소정영역을 제외한 전표면상에 표면이 평탄화된 접착용 산화막(35)을 형성하는 공정과, 상기 가동 구조체(24)의 하부의 절연 산화막(22)과 트랜치(27)내의 절연막(32)을 제거하는 공정과, 상기 접착용 산화막(35)의 표면에 유리기판(38)을 진공상태에서 합착시키는 공정을 포함하는 멤즈 소자의 제조 방법
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