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유기전자소자의 보호층 결함 검출 방법 및 이를 이용한 유기전자소자의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015096664
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기전자소자의 보호층에 발생한 결함을 보다 간단하고 신속하게 검출할 수 있는 방법에 관한 것으로, 기판 및 상기 기판 상에 적층된 유기물층, 전극층들, 및 보호층을 포함하는 유기전자소자를 제공하는 것; 상기 보호층에 상기 보호층 보다 유전상수가 높은 유체 화합물을 제공하는 것; 및 상기 유체 화합물이 제공된 상기 보호층 상에 전도체를 제공하여, 상기 보호층의 전기용량의 변화량을 측정하는 것을 포함하는 유기전자소자의 보호층 결함 검출 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01.01) H01L 51/52 (2006.01.01)
CPC H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01)
출원번호/일자 1020140036659 (2014.03.28)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-2180216-0000 (2020.11.12)
공개번호/일자 10-2015-0113387 (2015.10.08) 문서열기
공고번호/일자 (20201119) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.01.03)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이현구 대한민국 대전광역시 유성구
2 황치선 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0300321-86
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0048888-39
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0006245-78
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.10.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0054102-56
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0321364-18
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0671641-89
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.06.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0671642-24
10 등록결정서
Decision to grant
2020.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0780592-10
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 및 상기 기판 상에 적층된 유기물층, 전극층들, 및 보호층을 포함하는 유기전자소자를 제공하는 것;상기 보호층에 상기 보호층 보다 유전상수가 높은 유체 화합물을 제공하는 것; 및상기 유체 화합물이 제공된 상기 보호층 상에 수은 탐침을 제공하여, 상기 보호층의 전기용량(capacitance)의 변화량을 측정하는 것을 포함하되,상기 수은 탐침은 제1 전극 및 상기 제1 전극을 둘러싸는 제2 전극을 포함하고, 상기 제2 전극은 상기 제1 전극의 동심원 형태를 가지며,상기 보호층의 전기용량의 변화량을 측정하는 것은:상기 유체 화합물이 제공된 상기 보호층 상에, 상기 제1 및 제2 전극들과 상기 보호층간의 컨택 영역을 형성하는 것;상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 전위차가 발생하도록 전압을 인가하는 것; 및상기 컨택 영역의 전기용량의 변화량을 측정하는 것을 포함하는 유기전자소자의 보호층 결함 검출 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 보호층은 이물질, 핀홀 또는 이들의 조합을 포함하는 결함영역을 포함하고,상기 유체 화합물은 상기 보호층의 결함영역에 침투되어 상기 결함영역의 전기용량을 변화시키는 유기전자소자의 보호층 결함 검출 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 보호층은 상기 결함영역을 제외한 다른 영역인 미결함영역을 포함하고,상기 보호층의 전기용량의 변화량을 측정하는 것은:상기 미결함영역의 전기용량을 측정하여 정상 범위의 값으로 설정하는 것;상기 보호층 상의 일 영역의 전기용량을 측정하여, 상기 정상 범위 값과 비교하는 것; 및전기용량의 변화가 발생한 상기 일 영역이 상기 결함영역인 것으로 검출하는 것을 포함하는 유기전자소자의 보호층 결함 검출 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 유체 화합물은 유전상수가 15 이상인 유기전자소자의 보호층 결함 검출 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 유체 화합물은 물(H2O), 아세톤(Acetone), 아세토니트릴(Acetonitrile), N,N-디메틸아세트아미드(N,N-Dimethylacetamide),N,N-디메틸포름아미드(N,N-Dimethylformamide), 디메틸 술폭시드(Dimethyl sulfoxide), 에탄올(Ethanol), 포름아미드(Formamide), 헥사메틸포스포아미드(Hexamethylphosphoramide), 이소프로필 알콜(Isopropyl alcohol), 메탄올(Methanol), 니트로벤젠(Nitrobenzene) 및 니트로메탄(Nitromethane) 중 적어도 하나를 포함하는 유기전자소자의 보호층 결함 검출 방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
제1항에 있어서, 상기 보호층은 무기 절연체, 유기 절연체 또는 이들의 조합인 유기전자소자의 보호층 결함 검출 방법
11 11
기판 상에 유기물층, 전극층들 및 보호층을 형성하는 것;상기 보호층에 상기 보호층 보다 유전상수가 높은 유체 화합물을 제공하는 것;상기 유체 화합물이 제공된 상기 보호층 상에 수은 탐침을 제공하여, 상기 보호층의 전기용량의 변화량을 측정하는 것; 및상기 보호층 상에 봉지층을 형성하는 것을 포함하되,상기 수은 탐침은 제1 전극 및 상기 제1 전극을 둘러싸는 제2 전극을 포함하고, 상기 제2 전극은 상기 제1 전극의 동심원 형태를 가지며,상기 보호층의 전기용량의 변화량을 측정하는 것은:상기 유체 화합물이 제공된 상기 보호층 상에, 상기 제1 및 제2 전극들과 상기 보호층간의 컨택 영역을 형성하는 것;상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 전위차가 발생하도록 전압을 인가하는 것; 및상기 컨택 영역의 전기용량의 변화량을 측정하는 것을 포함하는 유기전자소자의 제조 방법
12 12
제11항에 있어서,상기 보호층은 이물질, 핀홀 또는 이들의 조합을 포함하는 결함영역을 포함하고,상기 유체 화합물은 상기 보호층의 결함영역에 침투되어 상기 결함영역의 전기용량을 변화시키는 유기전자소자의 제조 방법
13 13
제12항에 있어서,전기용량의 변화가 발생한 상기 결함영역을 검출하는 것; 및상기 결함영역 상에 보호층을 추가로 형성하는 것을 더 포함하는 유기전자소자의 제조 방법
14 14
제11항에 있어서, 상기 유기물층의 형성은,정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층을 적층하여 형성하는 것을 포함하는 유기전자소자의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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