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기판의 표면 아래를 통한 빛의 전파통로를 제공하고 렌즈의 위치를 결정하기 위한 광송신용 V홈과 광수신용 V홈이 기판에 각기 독립되어 내설되되 상기 광송신용 V홈이 두 개로 내설되는 실리콘 기판과; 상기 광송신용 V홈 사이에서 렌즈가 내설된 광송신 V홈의 종단 바로 뒤에 정렬 마크를 이용하여 광도파로가 V홈과 사전정렬된 다음 솔더범퍼를 통해 상기 기판에 플립칩 본딩되는 광원인 레이저와, 상기 한 개의 광송신용 V홈내에 부착되어 상기 레이저를 통해 방출된 빛을 집속하는 송신용 렌즈와, 그리고 상기 나머지 한 개의 광송신용 V홈의 상기 레이저 맞은 편 종단 측벽위에 그 활성영역이 기판으로 향하게 플립칩 본딩되어 상기 레이저를 감시하는 레이저 모니터용 광검출기를 포함한 광송신모듈과; 상기 실리콘 기판에 광수신용 V홈내에 부착되어 외부로부터 전달된 퍼짐성의 빛을 집속하는 수신용 렌즈와, 상기 광수신용 V홈의 종단 측벽 위에 수광영역을 아래로 향하게 부착되어 상기 수신용 렌즈를 통해 외부로부터 입사되는 빛을 검출하는 광수신용 광검출기를 포함한 광수신모듈로 구성되고, 상기 광송신모듈과 광수신모듈은 동일한 실리콘 기판내에 구성된 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈
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제1항에 있어서, 상기 광송신모듈과 광수신모듈이 적어도 한 조 이상 동일한 기판에 병렬로 나열된 어레이형으로 구성되는 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈
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제1항에 있어서, 상기 광모듈이 파장분할 다중화장치와 결합된 것을 특징으로 하는 광 어셈블리
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제1항에 있어서, 상기 광 모듈이 광섬유와 결합된 것을 특징으로 하는 광 어셈블리
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제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 두 개의 렌즈는 그 중심의 수평적인 간격이 어레이형 광섬유의 인접한 두 중심간 거리의 정수배인 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈
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제1항에 있어서, 상기 실리콘 기판은 상기 레이저 모니터용 광검출기, 광수신용 광검출기, 그리고 레이저 각각과 플립칩 본딩을 위한 범프와, 외부와 전기적으로 연결시키기 위한 연결선 및 와이어 본딩패드와, 그리고 상기 렌즈의 V홈 길이 방향의 거리를 측정하기 위한 눈금자가 부설된 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈
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제1항에 있어서, 상기 실리콘 기판은 기판의 앞뒷면에 형성되는 제1절연막과, 상기 제1절연막 위에 형성되는 다층의 금속패드 및 정렬마크패드와, 기판의 전면에 형성된 제2절연막과, 제1절연막과 제2절연막의 식각을 통해 형성된 V홈 식각창 및 솔더댐과, 상기 금속패드 위에 형성된 레이저 받침대와, 상기 V홈 식각창을 통해 실리콘 기판 내부에 형성된 V홈과, 상기 금속패드와 제2절연막 위에 형성된 솔더범프와, 그리고 상기 V홈의 측벽에 형성된 금속반사막으로 구성된 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈
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광 송/수신용 V홈을 갖는 실리콘 기판 위에 정렬하여 용융된 솔더로 레이저를 실리콘 기판에 플립칩 본딩하는 제1과정과; 상기 실리콘 기판위에 정렬하여 용융된 솔더로 레이저 모니터용 광검출기 및 광수신용 광검출기를 플립칩 본딩하는 제2과정과; 상기 각 V홈내 소정의 위치에 접착제를 접착한 후 자외선 혹은 가열에 의해 광 송/수신용 렌즈를 부착하는 제3과정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제8항에 있어서, 상기 실리콘 기판은 기판의 앞뒷면 상에 제1절연막을 형성하고 그 위에 전사공정과 리프트오프공정에 의해 금속패드 및 정렬마크패드를 형성하는 제1공정과; 상기 제1공정의 결과물의 전면에 제2절연막과 포토레지스트를 도포와 전사공정을 한 후 상기 제1절연막 및 제2절연막을 건식식각하여 상기 금속패드상의 소정 위치에 상기 금속패드 면적보다 작은 솔더댐과, 상기 정렬마크패드의 소정 위치에 상기 정렬마크패드 폭보다 작은 정렬마크와, 그리고 V홈 식각창을 각각 형성하고 포토레지스트를 제거하는 제2공정과; 상기 V홈 식각창 종단의 소정 위치에 레이저 받침대를 형성한 후 실리콘 비등방성 에칭용액으로 상기 V홈 식각창을 통하여 실리콘 기판 내부에 V홈을 형성하는 제3공정과; 그리고 상기 솔더댐 위에 전사공정과 솔더물질의 증착 및 리프트오프 방법에 의해 솔더범프를 형성하는 제4공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제8항에 있어서, 상기 실리콘 기판의 결정방향이 (100)인 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제9항에 있어서, 상기 제1절연막은 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제9항에 있어서, 상기 제1절연막은 실리콘 산화막과 실리콘 질화막을 다층으로 구성하는 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제9항에 있어서, 상기 제2절연막은 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제9항에 있어서, 상기 금속패드 및 정렬마크패드는 상기 제1절연막과 Cr 혹은 Ti, Ni 혹은 Cu, Pt, 그리고 Au의 순서로 직접 접촉하게 형성하는 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제9항에 있어서, 상기 솔더댐과 V홈 식각차의 식각패턴 사이의 전사공정오차를 자동적으로 제거하기 위해 상기 솔더댐의 식각패턴을 V홈 식각창과 같은 마스크상에 있도록 서로 자기정렬시키는 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제9항에 있어서, 상기 V홈의 측벽에는 빛을 반사시키기 위해 금속반사막을 증착하는 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 레이저의 실리콘 기판 표면으로부터의 높이는 상기 레이저 받침대의 두께로 조절하는 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제8항에 있어서, 상기 레이저의 후면에 V홈을 형성하고 레이저의 후면으로부터 방사된 빛이 V홈의 측벽을 통하여 광수신용 광검출기를 통하여 입사되도록 한 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제8항에 있어서, 상기 레이저 및 광수신용 광검출기를 기판에 플립칩 본딩할 때 기판과 레이저 및 광수신용 광검출기 전면의 소정 위치에 정렬마크를 형성시켜 레이저와 광수신용 광검출기의 플립칩 본딩시 사전정렬하는 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제9항에 있어서, 상기 정렬마크패드위에 증착된 제2절연막을 V홈의 식각창 형성과 동시에 식각하여 정렬마크를 형성시켜 상기 정렬마크와 V홈 식각창 사이의 전사공정오차를 제거하는 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제8항에 있어서, 상기 V홈은 그 폭을 빔의 전파를 위한 V홈의 폭보다 넓게 하여 레이저 혹은 광검출기로부터의 렌즈의 거리가 렌즈부착용 V홈의 위치에 의해 자동적으로 결정되게 한 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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제8항에 있어서, 상기 렌즈를 통한 빔이 V홈의 전단측벽을 조사하여 광검출기로 반사되도록 상기 렌즈의 중심을 실리콘 기판 표면 아래에 위치시키는 것을 특징으로 하는 V홈에 정렬된 렌즈를 갖는 광모듈의 제작방법
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