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윈도우 층; 및상기 윈도우 층 상에 배치된 타깃을 포함하되,상기 타깃은 상기 윈도우 층을 나노 사이즈로 노출하는 Y자 모양의 제 1 홀을 갖고,상기 타깃은:상기 제 1 홀보다 넓은 제 2 홀을 갖는 타깃 바디; 및상기 제 2 홀의 내의 상기 타깃 바디에 배치되어 상기 제 2 홀 내의 상기 제 1 홀을 갖는 링 필러들을 포함하는 타깃 유닛
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제 1 항에 있어서,상기 Y자 모양의 상기 제 1 홀의 입구는 출구보다 큰 직경을 갖고 나팔 모양을 갖는 타깃 유닛
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제 2 항에 있어서,상기 나팔 모양의 상기 입구의 측벽은 스텝진 타깃 유닛
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 링 필러들은:상기 제 2 홀의 내벽을 따라 형성된 제 1 링 필러; 및상기 제 1 링 필러 내에 배치된 제 2 링 필러를 포함하는 타깃 유닛
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제 5 항에 있어서, 상기 제 1 링 필러는, 상기 윈도우 층으로부터 멀어질수록 점진적으로 증가되는 제 1 내경을 갖고, 삼각형 모양을 갖는 타깃 유닛
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제 6 항에 있어서, 상기 제 2 링 필러는 상기 제 1 내경보다 작은 상기 제 1 홀을 갖고, Y모양의 단면을 갖는 타깃 유닛
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제 1 항에 있어서, 상기 타깃은 구리, 텅스텐, 또는 몰리브덴을 포함하는 타깃 유닛
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전자 빔을 생성하는 전자 소스; 및상기 전자 소스에서 제공되는 상기 전자 빔을 이용하여 엑스 선을 생성하는 타깃 유닛을 포함하되,상기 타깃 유닛은, 상기 엑스 선을 투과하는 윈도우 층; 및상기 윈도우 층 상에 배치된 타깃을 포함하되,상기 타깃은 상기 윈도우 층을 나노 사이즈로 노출하는 Y자 모양의 제 1 홀을 갖고,상기 타깃은:상기 제 1 홀보다 넓은 제 2 홀을 갖는 타깃 바디; 및상기 제 2 홀의 내의 상기 타깃 바디에 배치되어 상기 제 2 홀 내의 상기 제 1 홀을 갖는 링 필러들을 포함하는 엑스 선 튜브
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제 9 항에 있어서,상기 전자 소스와 상기 타깃 유닛 사이에 배치되어 상기 전자 빔을 상기 제 1 홀에 집중하는 렌즈를 포함하는 엑스 선 튜브
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제 9 항에 있어서,상기 전자 소스는: 캐소드; 및상기 캐소드와 상기 타깃 사이에 배치되어 상기 캐소드로부터 상기 전자 빔을 방출시키는 게이트 전극을 포함하는 엑스선 튜브
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