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외부에 노출된 외주면, 상기 외주면과 대향하며 가스와 접촉하는 내주면 및 상기 가스가 분사되는 출구를 포함하는 노즐;상기 외주면 또는 상기 내주면 중 일부에 형성되는 제1 전극; 및상기 제1 전극과 이격된 상태로 상기 외주면 중 일부에 형성되는 제2 전극을 포함하되,상기 제1 전극은 제1 전압을 갖는 제1 전원에 전기적으로 연결되고, 상기 제2 전극은 상기 제1 전압과 다른 제2 전압을 갖는 제2 전원에 전기적으로 연결되며,상기 제2 전극은 상기 제1 전극보다 상기 출구로부터 가까운 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시스템
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제1항에 있어서,상기 제2 전극과 이격된 상태로 상기 제1 전극이 형성된 면에 대향하는 면에 형성되는 제3 전극을 더 포함하며, 상기 제3 전극은 상기 제1 전원의 접지에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시스템
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제2항에 있어서,상기 제3 전극과 상기 출구 사이의 거리는 상기 제1 전극과 상기 출구 사이의 거리보다는 가깝고, 상기 제2 전극과 상기 출구 사이의 거리보다는 먼 것을 특징으로 하는 플라즈마 시스템
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제2항에 있어서,상기 제3 전극과 상기 출구 사이의 거리는 상기 제1 전극과 상기 출구 사이의 거리 및 상기 제2 전극과 상기 출구 사이의 거리보다 먼 것을 특징으로 하는 플라즈마 시스템
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제1항에 있어서,상기 제1 전극은 제1 저항을 통해 상기 제1 전원에 전기적으로 연결되고, 상기 제2 전극은 제2 저항을 통해 상기 제2 전원에 전기적으로 연결되는 플라즈마 시스템
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제5항에 있어서,상기 제1 저항 및 상기 제2 저항은 발라스트 저항인 것을 특징으로 하는 플라즈마 시스템
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제1항에 있어서,상기 제1 전원 및 상기 제2 전원은 직류 전원부 또는 교류 전원부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시스템
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8
제1항에 있어서,상기 제1 전원 및 상기 제2 전원은 각각 펄스 전원부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시스템
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제8항에 있어서,상기 펄스 전원부는양의 펄스 전압을 발생시키는 제1 펄스 발생기;음의 펄스 전압을 발생시키는 제2 펄스 발생기; 및상기 제1 펄스 발생기 또는 상기 제2 펄스 발생기와 전기적으로 연결되는 스위치를 포함하며, 상기 스위치가 상기 제1 펄스 발생기와 전기적으로 연결되는 경우 상기 펄스 전원부는 양의 펄스 전압을 출력하고, 상기 스위치가 상기 제2 펄스 발생기와 전기적으로 연결되는 경우 상기 펄스 전원부는 음의 펄스 전압을 출력하는 플라즈마 시스템
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10
제1항에 있어서,상기 노즐의 재질은 절연체이며,상기 노즐의 내주면은 라운드 처리된 것을 특징으로 하는 플라즈마 시스템
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