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플라즈마를 생성하는 플라즈마 발생부; 및상기 생성된 플라즈마를 배출하는 플라즈마 배출부를 포함하는 플라즈마 발생장치로서,상기 플라즈마 배출부는 상기 플라즈마 발생부로부터 생성된 플라즈마를 복수의 플라즈마 흐름으로 분산시키는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 배출부는, 상기 플라즈마 발생부로부터 생성된 플라즈마가 이동하는 플라즈마 이동부; 및상기 플라즈마 이동부 내에 위치하며, 복수의 분사구를 포함하여 상기 플라즈마 발생부로부터 생성된 플라즈마를 복수의 플라즈마 흐름으로 분산시키는 플라즈마 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 2 항에 있어서,상기 플라즈마 이동부는 관 형태를 가지며,상기 플라즈마 노즐에 형성되는 복수의 분사구는 균일하게 어레이 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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유체를 생성하는 유체 유입부;상기 생성된 유체를 이동시키는 유체이동 경로부; 및상기 유체이동 경로부 내부 또는 외부에 위치하여, 상기 유체에 플라즈마를 분사하는 적어도 하나의 플라즈마 커튼을 포함하는, 플라즈마 발생 장치
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제 4 항에 있어서,상기 플라즈마 커튼은:격자형태로 형성되는 플라즈마 이동경로; 및상기 격자형의 플라즈마 이동경로에서 상기 유체의 이동 방향에 수직, 수평 또는 일정한 각을 갖는 방향으로 형성되는 복수의 플라즈마 분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 4 항에 있어서,상기 플라즈마 커튼은 서로 평행하게 배치되는 복수의 플라즈마 이동 경로를 포함하고,상기 평행하게 배치되는 복수의 플라즈마 이동 경로에는 상기 유체의 이동 방향에 수직인 방향으로 복수의 플라즈마 분사구가 형성되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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제 4 항에 있어서,상기 적어도 하나의 플라즈마 커튼은 제 1 플라즈마 커튼 및 제 2 플라즈마 커튼을 포함하고, 상기 제 1 플라즈마 커튼은 제 1 방향으로 평행하게 배치되는 복수의 제 1 플라즈마 이동 경로들을 포함하고, 상기 제 2 플라즈마 커튼은 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향으로 평행하게 배치되는 복수의 제 2 플라즈마 이동 경로들을 포함하며, 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향은 모두 상기 유체의 이동 방향에 대해 수직, 수평 또는 일정한 각을 이루고,상기 평행하게 배치되는 제 1 플라즈마 이동 경로들에는 상기 유체의 이동 방향에 수직인 방향으로 복수의 제 1 플라즈마 분사구들이 각각 형성되고, 상기 평행하게 배치되는 제 2 플라즈마 이동 경로들에는 상기 유체의 이동 방향에 대해 수직, 수평 또는 일정한 각을 이루는 방향으로 복수의 제 2 플라즈마 분사구들이 각각 형성되며,상기 유체가 순차적으로 제 1 플라즈마 이동 경로들 사이를 통과한 후 상기 제 2 플라즈마 이동경로들 사이를 통과하도록 상기 플라즈마 커튼이 구성되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치
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