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반도체 기판 상에 M(M≥2)개의 금속층을 적층하여 제조하는 적층형 가변 인덕터에 있어서, 서로 다른 N(N≤M, N≥2)개의 금속층에 형성되어, 연속적으로 직렬 접속되어 있는 제 1 내지 제 N 인덕터; 상기 제 1 내지 제 N 인덕터 중 최상층의 인덕터와 최하층의 인덕터 각각에 접속된 제 1 및 제 2 포트; 및 적어도 하나의 스위칭 소자를 포함하여 구성되되, 상기 적어도 하나의 스위칭 소자의 일단자는 상기 포트 중 하나와 연결되고, 타단자는 상기 제 1 내지 제 N 인덕터 사이의 이웃하는 직렬 접속 단자들 중 하나에 연결되는 것을 특징으로 하는 적층형 가변 인덕터
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제 1 항에 있어서, 상기 적층된 금속층은 CMOS 기술을 이용하여 적층하고, 상기 스위칭 소자는 MOSFET인 것을 특징으로 하는 적층형 가변 인덕터
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제 1 항에 있어서, 상기 N은 2 이상 4 미만인 것을 특징으로 하는 적층형 가변 인덕터
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 내지 제 N 인덕터 중 적어도 어느 2개의 인덕터의 권수를 서로 각각 다르게 구성하는 것을 특징으로 하는 적층형 가변 인덕터
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제 1 항에 있어서, 상기 스위칭 소자의 ON/OFF를 통하여 직렬 연결된 상기 제 1 내지 제 N 인덕터 전체의 인덕턴스가 가변되도록 구성하는 것을 특징으로 하는 적층형 가변 인덕터
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 내지 제 N 인덕터의 권수 각각은 기판하부에서 상부방향으로 점차로 감소하거나, 점차로 증가시키는 것을 특징으로 하는 적층형 가변 인덕터
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제 1 항에 있어서, 상기 M은 3이상이고, 상기 N은 3인 경우, 스위칭 소자는 제 1 스위칭 소자 및 제 2 스위칭 소자로 구성하되, 상기 제 1 스위칭 소자의 일단자는 상기 포트 중 하나와 연결되고, 타단자는 상기 제 1 과 제 2 인덕터 사이의 직렬 접속 단자에 접속되고, 상기 제 2 스위칭 소자의 일단자는 상기 제 1 스위칭 소자가 연결된 상기 포트와 연결되고, 타단자는 상기 제 2 과 제 3 인덕터 사이의 직렬 접속 단자에 접속되는 것을 특징으로 하는 적층형 가변 인덕터
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제 1 항에 있어서, 상기 M은 3이상이고, 상기 N은 3인 경우, 스위칭 소자는 제 1 스위칭 소자 및 제 2 스위칭 소자로 구성하되, 상기 제 1 스위칭 소자의 일단자는 상기 포트 중 하나와 연결되고, 타단자는 상기 제 1 과 제 2 인덕터 사이의 직렬 접속 단자에 접속되고, 상기 제 2 스위칭 소자의 일단자는 상기 제 1 과 제 2 인덕터 사이의 직렬 접속 단자에 접속되고, 타단자는 상기 제 2 과 제 3 인덕터 사이의 직렬 접속 단자에 접속되는 것을 특징으로 하는 적층형 가변 인덕터
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제 1 항에 있어서, 상기 적층형 가변 인덕터에는 900MHz, 1
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제 1 항에 있어서, 상기 적층형 가변 인덕터는 2GHz 이상의 동작 주파수에서 동작하는 것을 특징으로 하는 적층형 가변 인덕터
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