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X축 및 Y축 방향으로 이동하는 샘플과 일정 거리를 유지하면서 상기 샘플의 표면 형상을 자신의 공진 주파수의 진폭의 변화를 통해 센싱하는 센싱수단;상기 센싱수단을 통해 센싱된 신호를 주파수 형태의 제1신호로 변환하여 출력하는 주파수 변환수단;상기 제1신호와 주파수 발생수단으로부터 출력되는 제2신호를 합성하는 주파수 합성수단-상기 제2신호는 상기 공진 주파수와 동일하며 상기 제1신호에 비해 고주파임; 및상기 합성된 신호 중 상기 제1신호에 응답하여 상기 센싱수단을 Z축 방향으로 구동시키며, 상기 센싱수단이 상기 제2신호에 선택적으로 동작하도록 하기 위해 상기 센싱수단에 상기 합성된 신호를 제공하는 구동수단을 포함하는 비접촉식 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 센싱수단은, 상기 제1신호에 응답한 상기 구동수단의 Z축 방향의 이동으로 인해 자신과 상기 샘플과의 간격을 유지하면서, 상기 샘플과의 간격의 변위에 해당하는 자신의 상기 공진 주파수의 진폭의 크기 변화를 센싱하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 구동수단은 상기 제1신호에 응답한 동작을 통해 실질적으로 저역통과 필터의 역할을 수행하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 센싱수단은, 그 일단이 상기 구동수단에 접속된 켄티레버; 상기 켄티레버의 타단에 접속되어 상기 샘플의 표면을 추종하는 팁; 및 상기 켄티레버의 소정 영역에 부착되어 상기 팁을 통해 상기 샘플의 표면 형싱을 센싱하는 센싱부 를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 측정 장치
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제 4 항에 있어서, 상기 팁은 탐침 형상으로 AFM(Atomic Force Microscope) 용도로 사용되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 측정 장치
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제 4 항에 있어서, 상기 팁은 구멍이 있는 형상으로 NSOM(Near field Scanning Optical Microscope) 용도로 사용되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 샘플은 그 하단에 위치한 X-Y 스캐너에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 측정 장치
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제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동수단은, 압전 엑츄에이터(Piezo actutor), 바이모프 엑츄에이터(Bimorph actuator) 또는 VCM(Voice Coil Motor) 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉식 측정 장치
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X축 및 Y축 방향으로 이동하는 샘플과 일정 거리를 유지하면서 상기 샘플의 표면 형상을 센싱수단의 공진 주파수의 진폭 변화를 통해 센싱하는 단계;상기 센싱된 신호를 주파수 형태의 제1신호로 변환하는 단계;상기 제1신호와 주파수 발생수단으로부터 출력되는 제2신호를 합성하는 단계-상기 제2신호는 상기 공진 주파수와 동일하며 상기 제1신호에 비해 고주파임; 상기 합성된 신호를 구동수단으로 피드백시키는 단계; 및전달된 상기 합성된 신호 중 상기 제1신호에 응답하여 Z축 방향으로 상기 구동수단을 구동시키고, 상기 제2신호에 선택적으로 상기 센싱수단을 동작시키는 주파수 응답 분리 동작을 실시하는 단계를 포함하는 주파수 응답 분리를 이용한 비접촉식 표면 측정 방법
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X축 및 Y축 방향으로 이동하는 샘플과 일정 거리를 유지하면서 상기 샘플의 표면 형상을 센싱수단의 공진 주파수의 진폭 변화를 통해 센싱하는 단계;상기 센싱된 신호를 주파수 형태의 제1신호로 변환하는 단계;상기 제1신호와 주파수 발생수단으로부터 출력되는 제2신호를 합성하는 단계-상기 제2신호는 상기 공진 주파수와 동일하며 상기 제1신호에 비해 고주파임; 상기 합성된 신호를 구동수단으로 피드백시키는 단계; 및전달된 상기 합성된 신호 중 상기 제1신호에 응답하여 Z축 방향으로 상기 구동수단을 구동시키고, 상기 제2신호에 선택적으로 상기 센싱수단을 동작시키는 주파수 응답 분리 동작을 실시하는 단계를 포함하는 주파수 응답 분리를 이용한 비접촉식 표면 측정 방법
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